[发明专利]用于电容型非制冷焦平面读出电路的超高阻抗测量装置有效
| 申请号： | 201711042176.3 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN108020723B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 李煜;白丕绩 | 申请（专利权）人： | 北方广微科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 北京展翅星辰知识产权代理有限公司 11693 | 代理人： | 王文生 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济技*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于电容型非制冷焦平面读出电路的超高阻抗测量装置，包括电容型非制冷焦平面读出电路输入级阵列和四个超高电阻测试结构，通过这四个超高电阻测试结构，使用常规高阻仪就可对电容型非制冷焦平面读出电路的反馈电阻进行快速、准确测量；通过对电容型非制冷焦平面读出电路四个角上的超高电阻测试结构进行检测，既保证读出电路输入级反馈电阻的阻值和均匀性要求，也保证了电容型非制冷焦平面读出电路的性能，同时保证了焦平面探测器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电容 制冷 平面 读出 电路 超高 阻抗 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于电容型非制冷焦平面读出电路的超高阻抗测量装置，包括电容型非制冷焦平面读出电路像素输入单元阵列和四个超高电阻测试结构。
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