[发明专利]用于电容型非制冷焦平面读出电路的超高阻抗测量装置

说明书

本发明公开了一种用于电容型非制冷焦平面读出电路的超高阻抗测量装置，包括电容型非制冷焦平面读出电路输入级阵列和四个超高电阻测试结构，通过这四个超高电阻测试结构，使用常规高阻仪就可对电容型非制冷焦平面读出电路的反馈电阻进行快速、准确测量；通过对电容型非制冷焦平面读出电路四个角上的超高电阻测试结构进行检测，既保证读出电路输入级反馈电阻的阻值和均匀性要求，也保证了电容型非制冷焦平面读出电路的性能，同时保证了焦平面探测器的性能。

技术领域

本发明涉及一种超高阻抗测量装置，具体地，涉及用于电容型非制冷焦平面读出电路的超高阻抗测量装置。

技术背景

在电容型非制冷焦平面读出电路的设计中，由于非制冷焦平面探测器对像元尺寸的限制，一般需要小于等于30微米*30微米，致使电容型非制冷焦平面探测器的每个像素的电容值非常小，达到几个pF量级。面对如此小的探测器电容值，电容型非制冷焦平面读出电路可以采用电压跟随器(SFD)类型，或者电阻反馈跨导放大器型(RTIA)，其中性能最好的是RTIA型。由于探测器电容值为pF量级，致使反馈电阻高达几十个G欧姆以上的量级，才能满足设计要求。并且，在输入级单元电路阵列中对该反馈电阻的精度和均一性有较高的要求，作为电容型非制冷焦平面探测器读出电路最重要的参数之一，该大电阻的测试方法成为电容型非制冷焦平面探测器研制过程中必须突破的关键技术之一。

现有的技术方案为直接用专用超高阻抗测量仪器对读出电路的超高反馈电阻进行测量。直接用专用超高阻抗测量仪器对读出电路的超高反馈电阻进行测量，存在以下缺点：

1.专用超高阻抗测量仪器价格昂贵；

2.专用超高阻抗测量仪器操作复杂，很难对读出电路的超高反馈电阻进行实时、在线、准确检测；

3.专用超高阻抗测量仪器操作复杂，很难对读出电路的超高反馈电阻的均匀性进行实时监测。

发明内容

本发明的目的在于发明一种用于电容型非制冷焦平面读出电路的超高阻抗测量装置，从而在读出电路芯片测试和筛选过程中，能够快速、准确地测量反馈电阻阻值，保证电容型非制冷焦平面读出电路的性能和质量。

本发明一种用于电容型非制冷焦平面读出电路的超高阻抗测量装置，包括电容型非制冷焦平面读出电路像素输入单元阵列和四个超高电阻测试结构。

其中，所述四个超高电阻测试结构分别位于所述电容型非制冷焦平面读出电路像素输入单元阵列的左上角、右上角、左下角、右下角。

其中，所述超高电阻测试结构分别包含多个均匀排列的超高电阻模块。

优选地，所述多个均匀排列的超高电阻模块数量为50个。

其中，所述多个均匀排列的超高电阻模块通过两根金属连接线并联连接。

其中，所述超高电阻测试结构包含两个连接所述金属连接线的焊盘。

其中，所述超高电阻模块包含多个均匀排列的超高电阻。

优选地，所述多个均匀排列的超高电阻数量为20个。

其中，所述多个均匀排列的超高电阻并联连接。

其中，所述超高电阻的阻值与所述电容型非制冷焦平面读出电路像素输入单元阵列的反馈电阻完全相同。

其中，所述超高电阻的形状、材料和制作工艺与所述电容型非制冷焦平面读出电路像素输入单元阵列的反馈电阻完全相同。