[发明专利]光电二极管及其形成方法、图像传感器、指纹成像模组在审
| 申请号： | 201711037795.3 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN109728127A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 曲志刚;朱虹 | 申请（专利权）人： | 上海箩箕技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/105;H01L31/0224;H01L27/146 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高磊;吴敏 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光电二极管及其形成方法、图像传感器、指纹成像模组，光电二极管的形成方法包括：提供衬底；在所述衬底上形成多个支撑件，所述多个支撑件分布于所述衬底表面；在所述衬底和所述多个支撑件上形成感光层。通过所述多个支撑件的形成，以形成具有凹凸表面的感光层，从而降低所述感光层表面反射的损耗，增大所述感光层吸收光线的面积，在不增大开口尺寸的前提下，达到提高所形成光电二极管的光采集能力，改善图像质量的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 光电二极管 支撑件 感光层 衬底 图像传感器 指纹成像 模组 感光层表面 凹凸表面 衬底表面 光采集 反射 开口 图像 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种光电二极管的形成方法，其特征在于，包括：提供衬底；在所述衬底上形成多个支撑件，所述多个支撑件分布于所述衬底表面；在所述衬底和所述多个支撑件上形成感光层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
