[发明专利]光电二极管及其形成方法、图像传感器、指纹成像模组

说明书

一种光电二极管及其形成方法、图像传感器、指纹成像模组，光电二极管的形成方法包括：提供衬底；在所述衬底上形成多个支撑件，所述多个支撑件分布于所述衬底表面；在所述衬底和所述多个支撑件上形成感光层。通过所述多个支撑件的形成，以形成具有凹凸表面的感光层，从而降低所述感光层表面反射的损耗，增大所述感光层吸收光线的面积，在不增大开口尺寸的前提下，达到提高所形成光电二极管的光采集能力，改善图像质量的目的。

技术领域

本发明涉及指纹成像领域，特别涉及一种光电二极管及其形成方法、图像传感器、指纹成像模组。

背景技术

指纹识别是在采集人体指纹图像之后，将指纹图像与指纹识别系统里已有指纹信息进行比对，以实现身份识别。由于使用的方便性，以及人体指纹的唯一性，指纹识别技术已经大量应用于各个领域，比如：公安局、海关等安检领域，楼宇的门禁系统，以及个人电脑和手机等消费品领域等等。

指纹识别所采用的指纹成像技术中，一种是通过光学方法采集人体指纹图像：通过光源产生入射光；入射光投射至手指表层，经手指反射形成带有指纹信息的反射光；由图像传感器接收所述反射光，获得指纹图像。

但是现有指纹成像模组所采用图像传感器的采光面积较小，影响了所获得指纹图像的质量。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种光电二极管及其形成方法、图像传感器、指纹成像模组，以增大采光面积、改善图像质量。

为解决上述问题，本发明提供一种光电二极管的形成方法，包括：

提供衬底；在所述衬底上形成多个支撑件，所述多个支撑件分布于所述衬底表面；在所述衬底和所述多个支撑件上形成感光层。

可选的，所述支撑件的宽度大于或等于1μm。

可选的，所述支撑件的间距大于或等于1μm。

可选的，所述支撑件具有朝向所述感光层凸起的支撑面，所述支撑面为曲面。

可选的，所述支撑件具有朝向所述衬底的第一面、与所述第一面相对的第二面以及连接所述第一面和第二面的第三面。

可选的，平行所述衬底表面的平面内，所述支撑件呈长条状；垂直所述支撑件延伸方向的平面，所述支撑件的截面形状为方形、梯形或三角形。

可选的，所述支撑件的高度小于或等于所述感光层厚度的2倍。

可选的，所述感光层的厚度小于或等于1.1μm；所述支撑件的高度小于2.2μm。

可选的，形成保形覆盖于所述衬底和所述多个支撑件上的所述感光层。。

可选的，形成所述多个支撑件的步骤包括：在所述衬底上形成凸起材料层；通过掩膜刻蚀的方式去除部分所述凸起材料层以形成所述支撑件。

可选的，形成所述多个支撑件之后，形成所述感光层之前，还包括：形成底电极，所述底电极位于所述衬底和所述多个支撑件上；在所述底电极上形成所述感光层。

可选的，所述底电极的厚度小于或等于所述支撑件高度的1/2。

可选的，通过原子层沉积的方式形成所述底电极。

可选的，形成所述感光层之后，还包括：在所述感光层上形成顶电极和位于所述顶电极上的偏压导电层；在所述偏压导电层上形成保护层。

可选的，所述感光层的材料为掺杂的非晶硅。

可选的，所述光电二极管为非晶硅PIN光电二极管。

相应的，还提供一种光电二极管，包括：

衬底；多个支撑件，所述多个支撑件分布于所述衬底表面；感光层，所述感光层位于所述衬底和所述多个支撑件上。