[发明专利]沉积装置及利用该装置的沉积方法有效
| 申请号： | 201711034759.1 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN108070830B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 孙尚佑;申相原 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 李盛泉;孙昌浩 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可以使沉积物质均匀分布的沉积装置及利用该装置的沉积方法。根据本发明的实施例的沉积装置具有：空腔板，位于腔室的内部；基板支撑台，在所述腔室的内部布置成与所述空腔板对向；以及多个阳极，可旋转地布置于所述空腔板与所述基板支撑台之间，其中，所述阳极具有杆状，且垂直于长度方向的截面具有长方形的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 利用 方法 | ||
【主权项】：
1.一种沉积装置，其特征在于，具有：空腔板，位于腔室的内部；基板支撑台，在所述腔室的内部布置成与所述空腔板对向；以及多个阳极，可旋转地布置于所述空腔板与所述基板支撑台之间，其中，所述阳极具有杆状，且垂直于长度方向的截面具有长方形的形状。
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