[发明专利]沉积装置及利用该装置的沉积方法

权利要求书

1.一种沉积装置，其特征在于，具有：

空腔板，位于腔室的内部，用于固定靶；

基板支撑台，在所述腔室的内部布置成与所述空腔板对向；以及

多个阳极，可旋转地布置于所述靶与所述基板支撑台之间，

其中，所述阳极具有杆状，且垂直于长度方向的截面具有长方形的形状。

2.如权利要求1所述的沉积装置，其特征在于，还具有：

旋转轴，连接于所述阳极，并具有沿所述阳极的长度方向延伸的形状；以及

旋转部，用于使所述旋转轴沿预定方向旋转。

3.如权利要求2所述的沉积装置，其特征在于，以垂直于所述长度方向的所述阳极的截面为基准，所述旋转轴位于所述阳极的中心部。

4.如权利要求2所述的沉积装置，其特征在于，以垂直于所述长度方向的所述阳极的截面为基准，所述旋转轴从所述阳极的中心部相隔而布置。

5.如权利要求1所述的沉积装置，其特征在于，所述阳极具有：

多个贯通孔，以垂直于所述长度方向的方式贯穿所述阳极。

6.如权利要求5所述的沉积装置，其特征在于，所述贯通孔沿所述长度方向而以相同间距布置。

7.如权利要求1所述的沉积装置，其特征在于，还具有：

突出部，以垂直于所述长度方向的所述阳极的截面为基准，从所述阳极的长方形短边突出。

8.如权利要求7所述的沉积装置，其特征在于，所述突出部从所述长方形的短边以具有曲线的方式突出。

9.如权利要求1所述的沉积装置，其特征在于，彼此相邻的所述阳极沿同一方向旋转。

10.如权利要求1所述的沉积装置，其特征在于，彼此相邻的所述阳极沿互不相同的方向旋转。

11.如权利要求1所述的沉积装置，其特征在于，还具有：

背板，固定于所述空腔板；

所述靶，固定于所述背板；

掩膜，位于所述阳极与所述基板支撑台之间，用于使从所述靶释放的沉积物质被供应到所期望的区域；以及

磁控管，位于所述背板的背面，用于生成磁场。

12.一种沉积方法，其特征在于，包括如下的步骤：

将工艺气体供应到腔室的内部；

将互不相同的电压供应到靶和多个阳极以形成等离子体，所述靶位于所述腔室的内部，所述多个阳极沿预定方向旋转；以及

使借助于所述等离子体而从所述靶释放的物质沉积于基板，

其中，所述阳极可旋转地设置于所述靶与所述基板之间，具有杆状，且垂直于长度方向的截面具有长方形的形状。

13.如权利要求12所述的沉积方法，其特征在于，彼此相邻的所述阳极沿相同方向旋转。

14.如权利要求12所述的沉积方法，其特征在于，彼此相邻的所述阳极沿互不相同的方向旋转。