[发明专利]一种无胶双重挠性覆铜板加工用直流溅射装置

摘要

本发明公开了一种无胶双重挠性覆铜板加工用直流溅射装置，包括装置箱体，所述装置箱体上表面设置有进气管，所述装置箱体下表面设置有吸气管，所述装置箱体上下两表面上设置有电动气缸。有益效果在于该一种无胶双重挠性覆铜板加工用直流溅射装置将经过直流溅射的基材从上下两层所述陶瓷加热灯之间穿过，通过所述陶瓷加热灯加热对基材表面进行烘烤，然后，金属层能够完全吸附在基材表面，故不会被密封塞刮掉，在后续通过输送辊进行输送时也不会被输送辊破坏，有效解决了传统无胶双重挠性覆铜板加工用直流溅射装置内的输送辊容易将直流溅射形成的金属层刮破的问题，实用性好。

主权项

一种无胶双重挠性覆铜板加工用直流溅射装置，包括装置箱体，其特征在于：所述装置箱体上表面设置有进气管，所述装置箱体下表面设置有吸气管，所述装置箱体上下两表面上设置有电动气缸，所述装置箱体正面设置有显示器、处理器、旋转电机和气泵，所述装置箱体侧面设置有密封塞，所述装置箱体内设置有隔板，所述隔板将所述装置箱体内分割成清洗室和溅射室，所述清洗室内设置有刷筒和布置管，所述刷筒侧面设置有刷丝，所述刷筒一端设置有传动轴，所述布置管侧面设置有喷气嘴、输气管和连接管，所述溅射室内侧底面和顶面上设置有极板，所述极板上设置有磁铁，所述磁铁上设置有铜背板，所述铜背板上设置有靶材，所述溅射室内设置有隔热板，所述隔热板上设置有陶瓷加热灯，所述溅射室内壁上设置有温度传感器。