[发明专利]一种无胶双重挠性覆铜板加工用直流溅射装置

权利要求书

1.一种无胶双重挠性覆铜板加工用直流溅射装置，包括装置箱体，其特征在于：所述装置箱体上表面设置有进气管，所述装置箱体下表面设置有吸气管，所述装置箱体上下两表面上设置有电动气缸，所述装置箱体正面设置有显示器、处理器、旋转电机和气泵，所述装置箱体侧面设置有密封塞，所述装置箱体内设置有隔板，所述隔板将所述装置箱体内分割成清洗室和溅射室，所述清洗室内设置有刷筒和布置管，所述刷筒侧面设置有刷丝，所述刷筒一端设置有传动轴，所述布置管侧面设置有喷气嘴、输气管和连接管，所述溅射室内侧底面和顶面上设置有极板，所述极板上设置有磁铁，所述磁铁上设置有铜背板，所述铜背板上设置有靶材，所述溅射室内设置有隔热板，所述隔热板上设置有陶瓷加热灯，所述溅射室内壁上设置有温度传感器。

2.根据权利要求1所述的一种无胶双重挠性覆铜板加工用直流溅射装置，其特征在于：所述传动轴与所述旋转电机的输出轴固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种无胶双重挠性覆铜板加工用直流溅射装置，其特征在于：所述吸气管外接真空泵。

4.根据权利要求1所述的一种无胶双重挠性覆铜板加工用直流溅射装置，其特征在于：所述进气管外接0.1-10Pa的氩气气源。

5.根据权利要求1所述的一种无胶双重挠性覆铜板加工用直流溅射装置，其特征在于：所述电动气缸数量有两个，分别位与所述装置箱体上下两表面上，其中，两个所述电动气缸的活塞杆头部均固定安装有所述隔热板。

6.根据权利要求1所述的一种无胶双重挠性覆铜板加工用直流溅射装置，其特征在于：所述隔热板数量有两个，分别位于所述溅射室内上下两端，其中，两个所述隔热板上相靠近的两个侧面上设置有多个呈一字型排列的所述陶瓷加热灯。

7.根据权利要求1所述的一种无胶双重挠性覆铜板加工用直流溅射装置，其特征在于：所述处理器与所述温度传感器和所述显示器电连接。

8.根据权利要求1所述的一种无胶双重挠性覆铜板加工用直流溅射装置，其特征在于：所述刷筒两端均固定安装有所述传动轴，所述旋转电机的机身固定安装在所述装置箱体正面上，其输出轴与所述传动轴固定连接。

9.根据权利要求1所述的一种无胶双重挠性覆铜板加工用直流溅射装置，其特征在于：所述布置管数量有两个，分别位于所述清洗室内上下两端，其中，每个所述布置管的侧面均设置有所述喷气嘴，两个所述布置管通过所述连接管连通，所述输气管一端与其中一个所述布置管连通，另一端与所述气泵连通。

10.根据权利要求1所述的一种无胶双重挠性覆铜板加工用直流溅射装置，其特征在于：所述密封塞数量有两个，分别位于所述溅射室两内壁内，其中，两个所述密封塞上均套设有防护套。

11.根据权利要求1所述的一种无胶双重挠性覆铜板加工用直流溅射装置，其特征在于：所述刷丝均匀分布在所述刷筒侧面上，且沿着所述刷筒的中心轴线方向呈一字型排列。