[发明专利]一种半导体清洗装置用夹持装置

摘要

本发明公开一种半导体清洗装置用夹持装置，解决的技术问题针对背景技术中提及的现有技术中不仅存在半导体零件清洗效率较低的问题，还存在零件报废率较高的技术问题。采用的技术方案一种半导体清洗装置用夹持装置，包括框架，两个滑轨，两根连杆，多个夹紧件和调节锁紧机构。优点本半导体清洗装置用夹持装置，采用可拆卸设计，可实现损坏或污染后可更换其配件，节省成本；框架采用镂空设计，从而不影响零件清洗。

主权项

一种半导体清洗装置用夹持装置，其特征在于，包括由四个带有通槽的板围成的四边形框架（1），在框架（1）的两个相对的宽度边顶部均设置截面呈“H”型的滑轨（2），在两个滑轨（2）之间跨设两根连杆（3），两根连杆（3）的两端均通过滑槽（6）滑动设置在滑轨（2）上；在两根连杆（3）上均间隔设置数量相等的多个夹紧件（4），并且两根连杆（3）上的夹紧件（4）一一对应设置；夹紧件（4）包括水平设置在连杆（3）上的夹紧基座（4‑1），在夹紧基座（4‑1）的内端面上外凸设置悬臂（4‑2），在悬臂（4‑2）上转动设置夹紧滚轮（4‑3），在夹紧滚轮（4‑3）的外周设置有容置清洗件边缘的凹槽（4‑4）；在两根连杆（3）之间设置至少一组用于锁紧两根连杆（3）之间相对位置的调节锁紧机构（5）；锁紧机构（5）包括两个拉簧（5‑1）、一根带有“T”型滑道的滑板（5‑2）、一个带有“T”型滑槽的滑槽板（5‑3）和两个安装支腿（5‑4），两个安装支腿（5‑4）分别安装在两根连杆（3）的背面且两个安装支腿（5‑4）均一一对应垂直于两根连杆（3）安装，两个拉簧（5‑1）一端均一一对应连接两个安装支腿（5‑4），两个拉簧（5‑1）另一端均一一对应连接滑板（5‑2）和滑槽板（5‑3）；滑板（5‑2）与滑槽板（5‑3）配合卡装并通过螺钉固定。