[发明专利]一种半导体清洗装置用夹持装置

权利要求书

1.一种半导体清洗装置用夹持装置，其特征在于，包括由四个带有通槽的板围成的四边形框架（1），在框架（1）的两个相对的宽度边顶部均设置截面呈“H”型的滑轨（2），在两个滑轨（2）之间跨设两根连杆（3），两根连杆（3）的两端均通过滑槽（6）滑动设置在滑轨（2）上；

在两根连杆（3）上均间隔设置数量相等的多个夹紧件（4），并且两根连杆（3）上的夹紧件（4）一一对应设置；

夹紧件（4）包括水平设置在连杆（3）上的夹紧基座（4-1），在夹紧基座（4-1）的内端面上外凸设置悬臂（4-2），在悬臂（4-2）上转动设置夹紧滚轮（4-3），在夹紧滚轮（4-3）的外周设置有容置清洗件边缘的凹槽（4-4）；

在两根连杆（3）之间设置至少一组用于锁紧两根连杆（3）之间相对位置的调节锁紧机构（5）；

锁紧机构（5）包括两个拉簧（5-1）、一根带有“T”型滑道的滑板（5-2）、一个带有“T”型滑槽的滑槽板（5-3）和两个安装支腿（5-4），两个安装支腿（5-4）分别安装在两根连杆（3）的背面且两个安装支腿（5-4）均一一对应垂直于两根连杆（3）安装，两个拉簧（5-1）一端均一一对应连接两个安装支腿（5-4），两个拉簧（5-1）另一端均一一对应连接滑板（5-2）和滑槽板（5-3）；滑板（5-2）与滑槽板（5-3）配合卡装并通过螺钉固定。

2.如权利要求1所述的半导体清洗装置用夹持装置，其特征在于，连杆（3）上的多个夹紧件（4）之间的间隔均相等。

3.如权利要求1所述的半导体清洗装置用夹持装置，其特征在于，夹紧滚轮（4-3）通过螺栓螺母副设置在悬臂（4-2）上。

4.如权利要求1所述的半导体清洗装置用夹持装置，其特征在于，在两根连杆（3）之间设置三组调节锁紧机构（5），三组调节锁紧机构（5）分别位于两根连杆（3）的两端以及中部位置处。

5.如权利要求1所述的半导体清洗装置用夹持装置，其特征在于，凹槽（4-4）的截面呈“U”型或“V”型。