[发明专利]一种改进的溅镀机防着板结构在审
| 申请号： | 201711010312.0 | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN107604327A | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 霍凯 | 申请（专利权）人： | 苏州凡特真空溅镀科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改进的溅镀机防着板结构，包含机体，所述机体内设有溅镀源，溅镀源下方设有置物板，所述置物板固定于输送带上，所述输送带两侧固定有输送导轨，所述输送导轨两侧的机体上通过支架固定有防着板组件，所述防着板组件包括内凹圆弧防着板和底部防着板，所述内凹圆弧防着板的底部连接有向前延伸的底部防着板，所述底部防着板上设有凹面和凸面，所述凹面置于内侧，所述凸面靠近边缘。优点是由于防着板组件的底部设有向外延伸的底部防着板，使得飞溅的靶材原子或者大尺寸颗粒被轻易包覆在防着板组件内，提高了机体内壁清洁率；而将凸面设计在边缘，凹面设计在内侧，进一步加强了吸附靶材原子或者大尺寸颗粒的能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进 溅镀机 防着 板结 | ||
【主权项】：
一种改进的溅镀机防着板结构，其特征在于：包含机体，所述机体内设有溅镀源，溅镀源下方设有置物板，所述置物板固定于输送带上，所述输送带两侧固定有输送导轨，所述输送导轨两侧的机体上通过支架固定有防着板组件，所述防着板组件包括内凹圆弧防着板和底部防着板，所述内凹圆弧防着板的底部连接有向前延伸的底部防着板，所述底部防着板上设有凹面和凸面，所述凹面置于内侧，所述凸面靠近边缘。
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