[发明专利]一种改进的溅镀机防着板结构在审
| 申请号： | 201711010312.0 | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN107604327A | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 霍凯 | 申请（专利权）人： | 苏州凡特真空溅镀科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改进 溅镀机 防着 板结 | ||
【权利要求书】：
1.一种改进的溅镀机防着板结构，其特征在于：包含机体，所述机体内设有溅镀源，溅镀源下方设有置物板，所述置物板固定于输送带上，所述输送带两侧固定有输送导轨，所述输送导轨两侧的机体上通过支架固定有防着板组件，所述防着板组件包括内凹圆弧防着板和底部防着板，所述内凹圆弧防着板的底部连接有向前延伸的底部防着板，所述底部防着板上设有凹面和凸面，所述凹面置于内侧，所述凸面靠近边缘。
2.根据权利要求1所述的一种改进的溅镀机防着板结构，其特征在于：所述内凹圆弧板内表面也设有凹面、凸面以及平滑面，所述凹面和凸面之间通过平滑面连接。
3.根据权利要求2所述的一种改进的溅镀机防着板结构，其特征在于：所述置物板上均匀分布有多个置物台。
4.根据权利要求3所述的一种改进的溅镀机防着板结构，其特征在于：位于所述置物板上的溅镀源通过旋转轴连接，所述机体外设有控制旋转轴的旋转电机。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州凡特真空溅镀科技有限公司，未经苏州凡特真空溅镀科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201711010312.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于批量合成复合材料的激光沉积设备
- 下一篇：一种永磁铁冷却装置
- 同类专利
- 专利分类
