[发明专利]晶圆支承装置以及晶圆处理装置

摘要

一种晶圆支承装置，其水平地支承晶圆，并使所支承的该晶圆能旋转，该晶圆支承装置包含桌台，将该晶圆支承于上方；多支夹持销，于该桌台的上表面以围绕于该晶圆的方式而配置，而与该晶圆的侧面接触，且能自侧面支承该晶圆；夹持销旋转机构，以贯通该桌台上表面的方式配设于该桌台内，能旋转且该夹持销在该夹持销旋转机构的上部以相对于旋转轴而偏心地立设；制动机构，能制动该夹持销旋转机构的旋转；以及桌台支撑轴，自下方支撑该桌台，能使该桌台旋转。

主权项

一种晶圆支承装置，其水平地支承晶圆，并使所支承的该晶圆可为旋转，该晶圆支承装置包含：桌台，将该晶圆支承于上方；多夹持销，于该桌台的上表面以围绕于该晶圆的方式而配置，而与该晶圆的侧面接触，且自侧面可为支承该晶圆；夹持销旋转机构，以贯通该桌台的上表面的方式配设于该桌台内，可为旋转且该夹持销在该夹持销旋转机构的上部以相对于旋转轴而偏心地立设；制动机构，可为制动该夹持销旋转机构的旋转；以及桌台支撑轴，自下方支撑该桌台，得以使该桌台旋转，其中该夹持销旋转机构旋转，偏心地立设于该夹持销旋转机构的多夹持销而以接触该晶圆的侧面的方式绕该夹持销旋转机构的旋转轴公转移动而自侧面支承该晶圆且在该支承之后该制动机构制动该夹持销旋转机构的旋转，借以固定该夹持销。