[发明专利]晶圆支承装置以及晶圆处理装置

权利要求书

1.一种晶圆支承装置，其水平地支承晶圆，并使所支承的该晶圆可为旋转，该晶圆支承装置包含：

桌台，将该晶圆支承于上方；

多夹持销，于该桌台的上表面以围绕于该晶圆的方式而配置，而与该晶圆的侧面接触，且自侧面可为支承该晶圆；

夹持销旋转机构，以贯通该桌台的上表面的方式配设于该桌台内，可为旋转且该夹持销在该夹持销旋转机构的上部以相对于旋转轴而偏心地立设；

制动机构，可为制动该夹持销旋转机构的旋转；以及

桌台支撑轴，自下方支撑该桌台，得以使该桌台旋转，

其中该夹持销旋转机构旋转，偏心地立设于该夹持销旋转机构的多夹持销而以接触该晶圆的侧面的方式绕该夹持销旋转机构的旋转轴公转移动而自侧面支承该晶圆且在该支承之后该制动机构制动该夹持销旋转机构的旋转，借以固定该夹持销。

2.如权利要求1所述的晶圆支承装置，其中该夹持销旋转机构具有与配设于该桌台内的传动齿轮相啮合的夹持驱动齿轮，通过该传动齿轮的旋转而使该夹持驱动齿轮旋转，而使该夹持销旋转机构旋转。

3.如权利要求1所述的晶圆支承装置，其中该传动齿轮具有孔洞，该制动机构通过制动销穿入至该传动齿轮的孔洞，而固定该传动齿轮，得以制动该夹持销旋转机构的旋转。

4.如权利要求2所述的晶圆支承装置，其中该传动齿轮具有孔洞，该制动机构通过制动销穿入至该传动齿轮的孔洞，而固定该传动齿轮，得以制动该夹持销旋转机构的旋转。

5.如权利要求3所述的晶圆支承装置，更具有通过自该传动齿轮的孔洞下方向上顶入而得以将该制动销自孔洞移除的上顶栓，透过该上顶栓，即得以在该晶圆的固定及固定解除时，通过将该制动销自该传动齿轮的孔洞移除，而解除该夹持销的固定。

6.如权利要求4所述的晶圆支承装置，更具有通过自该传动齿轮的孔洞下方向上顶入而得以将该制动销自孔洞移除的上顶栓，透过该上顶栓，即得以在该晶圆的固定及固定解除时，通过将该制动销自该传动齿轮的孔洞移除，而解除该夹持销的固定。

7.一种晶圆处理装置，其中如权利要求1至6中任一项所述的晶圆支承装置的该桌台具备有容纳于内部的腔室。

8.如权利要求7所述的晶圆处理装置，其中该晶圆处理装置为单片旋转式的湿式处理装置。

9.如权利要求7所述的晶圆处理装置，其中该晶圆处理装置为晶圆的洗净处理装置、旋转蚀刻处理装置、旋转涂覆处理装置、光阻剥离处理装置及聚合物移除处理装置中任一者。

10.如权利要求8所述的晶圆处理装置，其中该晶圆处理装置为晶圆的洗净处理装置、旋转蚀刻处理装置、旋转涂覆处理装置、光阻剥离处理装置及聚合物移除处理装置中任一者。