[发明专利]显示面板及其制造方法在审
| 申请号： | 201710948846.1 | 申请日： | 2017-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN107768306A | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 黄北洲 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/77 | 分类号： | H01L21/77;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司11228 | 代理人： | 亓赢 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种显示面板及其制造方法，显示面板的制造方法包括提供基板；设置栅极层于所述基板上；设置栅极绝缘层于所述基板上，并覆盖所述栅极层，其中，所述栅极绝缘层具有第一厚度；通过一光罩，刻蚀位于所述栅极层之上的所述栅极绝缘层，并使位于所述栅极层上的所述栅极绝缘层具有第二厚度，且所述栅极绝缘层具有外表面；设置半导体层于所述栅极绝缘层上；设置源极层和漏极层于所述半导体层上，并暴露出部分所述半导体层；其中，所述栅极绝缘层的第一厚度大于所述栅极绝缘层的第二厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 面板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种显示面板的制造方法，其特征在于，包括：提供一基板；设置一栅极层于所述基板上；设置一栅极绝缘层于所述基板上，并覆盖所述栅极层，其中，所述栅极绝缘层具有第一厚度；通过一光罩，刻蚀位于所述栅极层之上的所述栅极绝缘层，并使位于所述栅极层上的所述栅极绝缘层具有第二厚度，且所述栅极绝缘层具有一外表面；设置一半导体层于所述栅极绝缘层上；设置一源极层和一漏极层于所述半导体层上，并暴露出部分所述半导体层；其中，所述栅极绝缘层的第一厚度大于所述栅极绝缘层的第二厚度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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