[发明专利]显示面板及其制造方法在审
| 申请号： | 201710948846.1 | 申请日： | 2017-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN107768306A | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 黄北洲 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/77 | 分类号： | H01L21/77;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司11228 | 代理人： | 亓赢 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显示 面板 及其 制造 方法 | ||
1.一种显示面板的制造方法，其特征在于，包括：
提供一基板；
设置一栅极层于所述基板上；
设置一栅极绝缘层于所述基板上，并覆盖所述栅极层，其中，所述栅极绝缘层具有第一厚度；
通过一光罩，刻蚀位于所述栅极层之上的所述栅极绝缘层，并使位于所述栅极层上的所述栅极绝缘层具有第二厚度，且所述栅极绝缘层具有一外表面；
设置一半导体层于所述栅极绝缘层上；
设置一源极层和一漏极层于所述半导体层上，并暴露出部分所述半导体层；
其中，所述栅极绝缘层的第一厚度大于所述栅极绝缘层的第二厚度。
2.如权利要求1所述的显示面板的制造方法，其特征在于，所述栅极绝缘层的第一厚度介于到之间。
3.如权利要求1所述的显示面板的制造方法，其特征在于，所述栅极绝缘层的第二厚度介于到之间。
4.如权利要求1所述的显示面板的制造方法，其特征在于，刻蚀后的所述栅极绝缘层的外表面为一平坦面。
5.如权利要求1所述的显示面板的制造方法，其特征在于，所述光罩为半色调光罩或灰阶光罩。
6.如权利要求1所述的显示面板的制造方法，其特征在于，更包括：设置一钝化层于所述基板上，所述钝化层覆盖所述源极层，所述漏极层及所述半导体层。
7.一种显示面板，其特征在于，包括：
一基板；
一栅极层，设置于所述基板上；
一栅极绝缘层，设置于所述基板上，并覆盖所述栅极层，其中，位于所述栅极层上的部分所述栅极绝缘层具有第二厚度，位于所述基板上的另一部分所述栅极绝缘层具有第一厚度，且所述栅极绝缘层具有一外表面；
一半导体层，设置于所述栅极绝缘层上；
一源极层和一漏极层，设置于所述半导体层上，并暴露出部分所述半导体层；
一钝化层，设置于所述基板上，所述钝化层覆盖所述源极层，所述漏极层及所述半导体层；
其中，所述栅极绝缘层的第一厚度大于所述栅极绝缘层的第二厚度，且所述栅极绝缘层的外表面为一平坦面。
8.如权利要求7所述的显示面板，其特征在于，所述栅极绝缘层的第一厚度介于到之间。
9.如权利要求7所述的显示面板，其特征在于，所述栅极绝缘层的第二厚度介于到之间。
10.一种显示面板的制造方法，其特征在于，包括：
提供一基板；
设置一栅极层于所述基板上；
设置一栅极绝缘层于所述基板上，并覆盖所述栅极层，其中，所述栅极绝缘层具有第一厚度；
通过一光罩，刻蚀位于所述栅极层之上的所述栅极绝缘层，并使位于所述栅极层上的所述栅极绝缘层具有第二厚度，且所述栅极绝缘层具有一外表面；
设置一半导体层于所述栅极绝缘层上；
设置一源极层和一漏极层于所述半导体层上，并暴露出部分所述半导体层；
设置一钝化层于所述基板上，所述钝化层覆盖所述源极层，所述漏极层及所述半导体层；
其中，所述第一厚度为所述第二厚度为
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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