[发明专利]显示面板及其制造方法

说明书

技术领域

本申请涉及显示领域，特别是涉及一种显示面板及其制造方法。

背景技术

平板显示装置，其具有色域广、省电等众多优点，在各领域得到广泛应用。现有的平板显示装置主要包括液晶显示装置(Liquid Crystal Display，LCD)，有机发光二极管(Organic Light Emitting Diodes，OLED)显示装置和量子点发光二极管(Quantum Dot Light Emitting Diodes，QLED)显示装置。其中，薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)，可形成在玻璃基板或塑料基板上，通常作为主动开关，是平板显示装置的重要组成部分之一。而随着发展，也对显示面板及显示装置提出了更多、更高的要求，如抗静电性能，部分产品由于灵敏度高，因而对主动开关等元件的抗静电性能的要求特别高。

在TFT的生产和制造过程中，会在阵列基板中镀上多个具有不同功能作用的膜层，而不同的膜层是在不同的机械设备和反应室中完成。在镀膜和基板搬运的过程中，难以避免地会产生大量的静电荷，该些静电荷堆积于阵列基板上，当与传送设备接触时，会形成较大的电势差，进而将接触点附近的膜层击穿，严重影响平板显示面板或平板显示装置的质量。

发明内容

为了解决上述技术问题，本申请的目的在于，提供一种显示面板及其制造方法，其通过选择性地加大主动开关的栅极绝缘层的厚度，同时保持位于栅极层上的栅极绝缘层的厚度不变，可以在不影响主动开关电学等性能的前提下，提升主动开关的抗静电能力。

本申请的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本申请提出的一种显示面板的制造方法，包括：提供一基板；设置一栅极层于所述基板上；设置一栅极绝缘层于所述基板上，并覆盖所述栅极层，其中，所述栅极绝缘层具有第一厚度；通过一光罩，刻蚀位于所述栅极层之上的所述栅极绝缘层，并使位于所述栅极层上的所述栅极绝缘层具有第二厚度，且所述栅极绝缘层具有一外表面；设置一半导体层于所述栅极绝缘层上；设置一源极层和一漏极层于所述半导体层上，并暴露出部分所述半导体层；其中，所述栅极绝缘层的第一厚度大于所述栅极绝缘层的第二厚度。

在本申请的一实施例中，所述栅极绝缘层的第一厚度介于到之间。

在本申请的一实施例中，所述栅极绝缘层的第二厚度介于到之间。

在本申请的一实施例中，刻蚀后的所述栅极绝缘层的外表面为一平坦面。

在本申请的一实施例中，所述光罩为半色调光罩或灰阶光罩。

在本申请的一实施例中，更包括：设置一钝化层于所述基板上，所述钝化层覆盖所述源极层，所述漏极层及所述半导体层。

本申请的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

本申请的另一目的为一种显示面板，包括：一基板；一栅极层，设置于所述基板上；一栅极绝缘层，设置于所述基板上，并覆盖所述栅极层，其中，位于所述栅极层上的部分所述栅极绝缘层具有第二厚度，位于所述基板上的另一部分所述栅极绝缘层具有第一厚度，且所述栅极绝缘层具有一外表面；一半导体层，设置于所述栅极绝缘层上；一源极层和一漏极层，设置于所述半导体层上，并暴露出部分所述半导体层；一钝化层，设置于所述基板上，所述钝化层覆盖所述源极层，所述漏极层及所述半导体层；其中，所述栅极绝缘层的第一厚度大于所述栅极绝缘层的第二厚度，且所述栅极绝缘层的外表面为一平坦面。

在本申请的一实施例中，所述栅极绝缘层的第一厚度介于到之间。

在本申请的一实施例中，所述栅极绝缘层的第二厚度介于到之间。

本申请的又一目的为一种显示面板的制造方法，包括：提供一基板；设置一栅极层于所述基板上；设置一栅极绝缘层于所述基板上，并覆盖所述栅极层，其中，所述栅极绝缘层具有第一厚度；通过一光罩，刻蚀位于所述栅极层之上的所述栅极绝缘层，并使位于所述栅极层上的所述栅极绝缘层具有第二厚度，且所述栅极绝缘层具有一外表面；设置一半导体层于所述栅极绝缘层上；设置一源极层和一漏极层于所述半导体层上，并暴露出部分所述半导体层；设置一钝化层于所述基板上，所述钝化层覆盖所述源极层，所述漏极层及所述半导体层；其中，所述第一厚度为所述第二厚度为

本申请通过选择性地加大主动开关的栅极绝缘层的厚度，同时保持位于栅极层上的栅极绝缘层的厚度不变，可以在不影响主动开关电学等性能的前提下，提升主动开关的抗静电能力。

附图说明

图1为范例性的显示面板示意图。