[发明专利]蒸镀用UV前处理设备在审
| 申请号： | 201710927479.7 | 申请日： | 2017-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN107761049A | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 刘兆松;徐源竣;任章淳 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/04;C23C14/24;H01L21/77 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀用UV前处理设备，包括壳体，所述壳体内部具有固化腔室；所述壳体的一端设置有进料口，所述壳体的相对另一端设置有出料口；UV光源，设置于所述固化腔室内部；其中，所述固化腔室内壁设置有吸光层；有益效果为本发明提供的蒸镀用UV前处理设备，通过在蒸镀用UV前处理设备的腔室内壁设置吸光层，以吸收部分UV光，避免UV光通过腔室内壁反射到TFT阵列基板的TFT器件上，使得TFT器件免受UV光照射，保证TFT器件的电性不被影响。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀用 uv 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种蒸镀用UV前处理设备，其特征在于，包括：壳体，所述壳体内部具有固化腔室；所述壳体的一端设置有进料口，所述壳体的相对另一端设置有出料口；UV光源，设置于所述固化腔室内部；其中，所述固化腔室内壁设置有吸光层。
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