[发明专利]光阻涂布设备及涂布方法有效
| 申请号： | 201710910823.1 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN107490938B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 龚成波 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种光阻涂布设备，包括：工作台，工作台上表面间隔地开设有多个用于朝上方的基板吹气使基板悬浮的喷气孔；喷头组件，包括移动架和喷头，移动架的移动方向垂直于其长度方向，喷头用于朝基板喷涂光阻材料；检测单元，固定在喷头组件上，用于检测喷头顶部与基板之间的距离；控制器，用于根据检测单元的检测结果控制喷气孔的喷出压力，以调整基板的悬浮高度。本发明的光阻涂布设备可以使基板悬浮于工作台上方，并利用喷头朝基板喷涂光阻材料，避免了基板与工作平台直接接触产生静电，也避免了喷头或基板损伤，保证了光阻涂布厚度和品质。同时，可在光阻涂布前对基板与喷头之间的距离进行校准，进一步保证了光阻的涂布厚度的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 光阻涂 布设 方法 | ||
【主权项】：
一种光阻涂布设备，其特征在于，包括：工作台(10)，所述工作台(10)上表面间隔地开设有多个用于朝上方的基板(1)吹气使所述基板(1)悬浮的喷气孔(11)；喷头组件(20)，包括沿水平方向上可移动地设于所述工作台(10)上方的移动架(21)和沿所述移动架(21)长度方向线性布置在所述移动架(21)底部的至少一排喷头(200)，所述移动架(21)的移动方向垂直于所述工作台(10)的长度方向，所述喷头(200)用于朝所述基板(1)喷涂光阻材料；检测单元(30)，固定在所述喷头组件(20)上，用于检测所述喷头(200)顶部与所述基板(1)之间的距离；控制器，用于根据所述检测单元(30)的检测结果控制所述喷气孔(11)的喷出压力，以调整所述基板(1)的悬浮高度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司，未经武汉华星光电半导体显示技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710910823.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种涂光刻胶系统及其胶黏度的在线测量方法
- 下一篇：墨粉容器
