[发明专利]光阻涂布设备及涂布方法

权利要求书

1.一种光阻涂布设备，其特征在于，包括：

工作台(10)，所述工作台(10)上表面间隔地开设有垂直于所述工作台(10)的多个用于朝上方的基板(1)吹气使所述基板(1)悬浮的喷气孔(11)，以及与所述喷气孔(11)呈一夹角设置的子喷气孔(13)；

喷头组件(20)，包括沿水平方向上可移动地设于所述工作台(10)上方的移动架(21)和沿所述移动架(21)长度方向线性布置在所述移动架(21)底部的至少一排喷头(200)，所述移动架(21)的移动方向垂直于所述工作台(10)的长度方向，所述喷头(200)用于朝所述基板(1)喷涂光阻材料；

多排滚轮(14)，所述滚轮(14)可滚动地设于所述工作台(10)上，且所述滚轮(14)的部分滚轮面凸出于所述工作台(10)上表面，所述滚轮(14)接地处理；所述基板(1)承载在所述滚轮(14)上时，所述子喷气孔(13)朝所述基板(1)吹气可使所述基板(1)在所述滚轮(14)上滚动进行传输；

检测单元(30)，固定在所述喷头组件(20)上，用于检测所述喷头(200)顶部与所述基板(1)之间的距离；

控制器，用于根据所述检测单元(30)的检测结果控制所述喷气孔(11)的喷出压力，以调整所述基板(1)的悬浮高度。

2.根据权利要求1所述的光阻涂布设备，其特征在于，所述喷头(200)为多排，阵列设置在所述喷头组件(20)下表面。

3.根据权利要求1所述的光阻涂布设备，其特征在于，所述检测单元(30)固定在所述喷头组件(20)侧面。

4.根据权利要求1所述的光阻涂布设备，其特征在于，所述喷头(200)包括喷腔(201)和连接在所述喷腔(201)底部的喷嘴(202)，所述检测单元(30)伸入所述喷腔(201)底部与所述工作台(10)之间，用于检测所述喷腔(201)底部与所述基板(1)之间的距离。

5.根据权利要求1所述的光阻涂布设备，其特征在于，所述检测单元(30)为两个，分别设于所述喷头组件(20)的两端。

6.根据权利要求1-5任一所述的光阻涂布设备，其特征在于，所述工作台(10)上表面还间隔地开设有多个吸气孔(12)。

7.根据权利要求6所述的光阻涂布设备，其特征在于，所述喷气孔(11)阵列设置，所述吸气孔(12)为多排，每排所述吸气孔(12)设于相邻的两排所述喷气孔(11)之间。

8.一种使用权利要求1-7任一所述的光阻涂布设备的光阻涂布方法，其特征在于，包括测量所述喷头(200)顶部与所述基板(1)之间的距离，计算所述喷头(200)端部和所述基板(1)之间的间距，并根据所述喷头(200)端部和所述基板(1)之间的间距与预定间隙值的差距调整所述基板(1)的悬浮高度，然后所述喷头(200)开始喷涂并平移，直至喷涂完成；在所述工作台(10)的喷气孔(11)不工作时，所述基板(1)承载于所述滚轮(14)表面，所述子喷气孔(13)朝所述基板(1)吹气可使所述基板(1)在所述滚轮(14)上滚动进行传输。