[发明专利]光阻涂布设备及涂布方法

说明书

本发明公开了一种光阻涂布设备，包括：工作台，工作台上表面间隔地开设有多个用于朝上方的基板吹气使基板悬浮的喷气孔；喷头组件，包括移动架和喷头，移动架的移动方向垂直于其长度方向，喷头用于朝基板喷涂光阻材料；检测单元，固定在喷头组件上，用于检测喷头顶部与基板之间的距离；控制器，用于根据检测单元的检测结果控制喷气孔的喷出压力，以调整基板的悬浮高度。本发明的光阻涂布设备可以使基板悬浮于工作台上方，并利用喷头朝基板喷涂光阻材料，避免了基板与工作平台直接接触产生静电，也避免了喷头或基板损伤，保证了光阻涂布厚度和品质。同时，可在光阻涂布前对基板与喷头之间的距离进行校准，进一步保证了光阻的涂布厚度的均匀性。

技术领域

本发明涉及光阻涂布技术领域，尤其涉及一种光阻涂布设备及涂布方法。

背景技术

CF(color filter，即彩色滤光片)基板是LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)用来实现彩色显示的主要器件，其基本构成通常包括：玻璃基板、黑色矩阵(BlackMatrix，即BM)、彩色色阻层等。背光源发出的光经过液晶分子的调制入射到CF基板，通过CF基板上彩色色阻层的红色色阻、绿色色阻、以及蓝色色阻的滤光作用，分别显示红，绿，蓝三种光线，不同颜色的色阻分别透射对应颜色波段的光，从而实现显示器的彩色显示。在CF制程当中，包括光阻涂布、曝光、显影等制程，其中，光阻涂布无疑是最为重要的一个环节，光阻涂布的均匀性以及光阻的厚度对于显示效果都有很重要的影响。

为保证光阻涂布厚度的均一性，现有的光阻涂布机通常包括工作平台、喷头模块和喷头支架，工作平台用于放置待喷涂光阻的基板，两条喷头支架相互平行，分别位于工作平台的宽度方向的两侧，一排涂布喷头集成在条状的涂布喷头模块上，涂布喷头模块两端分别与喷头支架滑动配合，涂布喷头模块在沿基板的长度方向上来回移动的过程中喷出光阻材料，对下方的基板进行光阻的涂布。然而，此种涂布方式的基板表面极易产生一些微粒(Particle)，当微粒介入到喷头与基板之间，容易造成喷头损伤或基板出现划痕，从而影响光阻涂布厚度。同时，基板与工作平台接触还容易产生静电，从而影响光阻涂布品质。

发明内容

鉴于现有技术存在的不足，本发明提供了一种光阻涂布设备及涂布方法，可以避免光阻涂布过程中产生静电，也可以保证光阻涂布厚度。

为了实现上述的目的，本发明采用了如下的技术方案：

一种光阻涂布设备，包括：

工作台，所述工作台上表面间隔地开设有多个用于朝上方的基板吹气使所述基板悬浮的喷气孔；

喷头组件，包括沿水平方向上可移动地设于所述工作台上方的移动架和沿所述移动架长度方向线性布置在所述移动架底部的至少一排喷头，所述移动架的移动方向垂直于所述移动架的长度方向，所述喷头用于朝所述基板喷涂光阻材料；

检测单元，固定在所述喷头组件上，用于检测所述喷头顶部与所述基板之间的距离；

控制器，用于根据所述检测单元的检测结果控制所述喷气孔的喷出压力，以调整所述基板的悬浮高度。

作为其中一种实施方式，所述喷头为多排，阵列设置在所述喷头组件下表面。

作为其中一种实施方式，所述检测单元固定在所述喷头组件侧面。

作为其中一种实施方式，所述喷头包括喷腔和连接在所述喷腔底部的喷嘴，所述检测单元伸入所述喷腔底部与所述工作台之间，用于检测所述喷腔底部与所述基板之间的距离。

作为其中一种实施方式，所述检测单元为两个，分别设于所述喷头组件的两端。

作为其中一种实施方式，所述工作台上表面还间隔地开设有多个吸气孔。

作为其中一种实施方式，所述喷气孔阵列设置，所述吸气孔为多排，每排所述吸气孔设于相邻的两排所述喷气孔之间。