[发明专利]蒸镀掩膜板、OLED面板及系统及蒸镀监控方法有效
| 申请号： | 201710910812.3 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109585695B | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 刘明星;李俊峰;王徐亮;高峰 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L23/544;H01L27/32;H01L21/67;C23C14/04 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蒸镀掩膜板、OLED面板及系统及蒸镀监控方法，其中，所述蒸镀掩膜板包括第一功能区域和位于所述第一功能区域外的第一外围区域，所述第一功能区域具有用于蒸镀形成功能层的第一开口，所述第一外围区域具有用于监控所述第一开口的蒸镀效果的第二开口。通过蒸镀掩膜板的第二开口可以在OLED面板的观察层上蒸镀形成监控结构，通过所述监控结构可以监控所述蒸镀掩膜板的第一开口的蒸镀效果，从而可以及时的监控蒸镀效果，达到实时在线监控的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 掩膜板 开口 功能区域 监控 监控结构 外围区域 实时在线监控 功能层 观察 | ||
【主权项】：
1.一种OLED面板，其特征在于，所述OLED面板包括第二功能区域和位于所述第二功能区域外的第二外围区域，所述第二外围区域上形成有观察层，所述观察层上用于形成监控结构，所述监控结构通过采用一蒸镀掩膜板而形成，所述蒸镀掩膜板包括第一功能区域和位于所述第一功能区域外的第一外围区域，所述第一功能区域具有用于蒸镀形成功能层的第一开口，所述第一外围区域具有用于监控所述第一开口的蒸镀效果的第二开口，所述第一外围区域具有相对的第一边沿和第二边沿，所述第一边沿较所述第二边沿靠近所述第一功能区域；相较于第二边沿，所述第二开口靠近所述第一边沿，所述蒸镀掩膜板的第一开口用于在所述OLED面板的第二功能区域上蒸镀形成功能层，所述蒸镀掩膜板的第二开口用于在所述OLED面板的观察层上蒸镀形成监控结构，所述监控结构用于监控所述第一开口的蒸镀效果。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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