[发明专利]蒸镀掩膜板、OLED面板及系统及蒸镀监控方法

说明书

本发明提供了一种蒸镀掩膜板、OLED面板及系统及蒸镀监控方法，其中，所述蒸镀掩膜板包括第一功能区域和位于所述第一功能区域外的第一外围区域，所述第一功能区域具有用于蒸镀形成功能层的第一开口，所述第一外围区域具有用于监控所述第一开口的蒸镀效果的第二开口。通过蒸镀掩膜板的第二开口可以在OLED面板的观察层上蒸镀形成监控结构，通过所述监控结构可以监控所述蒸镀掩膜板的第一开口的蒸镀效果，从而可以及时的监控蒸镀效果，达到实时在线监控的效果。

技术领域

本发明涉及OLED技术领域，特别涉及一种蒸镀掩膜板、OLED面板及系统及蒸镀监控方法。

背景技术

有机电致发光技术(Organic Light Emitting Diode，OLED)是一种新型的显示、照明技术，近几年内针对OLED器件的投资逐渐增加，OLED器件已经成为行业热点。

在OLED器件的制造过程中，往往会利用蒸镀掩膜板，通过真空蒸镀方式形成有机材料层。蒸镀掩膜板通常包括掩膜片(sheet mask)，掩膜片上具有图案，在真空蒸镀过程中，(加热升华后的)有机材料通过所述图案后到片达基板上，从而在基板上形成有机材料层。

蒸镀的效果对于OLED器件的制造非常重要，现有技术中无法实现蒸镀效果(主要包括蒸镀偏位)的及时监控，只是对每次蒸镀结果进行抽检，利用显微镜进行人为测量，该方法耗时耗力且不能对蒸镀过程时时监控。因此，如何提供一种能够比较实时的蒸镀监控方法成了本领域技术人员需要解决的一个问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸镀掩膜板、OLED面板及系统及蒸镀监控方法，以解决现有技术中不能对蒸镀过程及时监控的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种蒸镀掩膜板，所述蒸镀掩膜板包括第一功能区域和位于所述第一功能区域外的第一外围区域，所述第一功能区域具有用于蒸镀形成功能层的第一开口，所述第一外围区域具有用于监控所述第一开口的蒸镀效果的第二开口。

可选的，在所述的蒸镀掩膜板中，所述第二开口的形状和所述第一开口的形状相同。

可选的，在所述的蒸镀掩膜板中，所述第一外围区域具有相对的第一边沿和第二边沿，所述第一边沿较所述第二边沿靠近所述第一功能区域；相较于第二边沿，所述第二开口靠近所述第一边沿。

可选的，在所述的蒸镀掩膜板中，所述第二开口的数量为多个，多个所述第二开口均匀的分布于所述第一外围区域。

可选的，在所述的蒸镀掩膜板中，所述蒸镀掩膜板包括掩膜片和用于支撑所述掩膜片的支撑条，所述第一开口和所述第二开口均位于所述掩膜片上，所述支撑条上具有第三开口，所述第三开口仅露出部分数量的所述第二开口。

本发明还提供一种OLED面板，所述OLED面板包括第二功能区域和位于所述第二功能区域外的第二外围区域，所述第二外围区域上形成有观察层。

可选的，在所述的OLED面板中，所述观察层的材料为反光材料。

可选的，在所述的OLED面板中，所述观察层的厚度为100nm～200nm。

可选的，在所述的OLED面板中，所述第二外围区域的表面和所述第二功能区域的表面的高度差小于等于200nm。

本发明还提供一种OLED面板系统，所述OLED面板系统包括：如上所述的蒸镀掩膜板及如上所述的OLED面板，所述蒸镀掩膜板位于所述OLED面板的下方，所述蒸镀掩膜板的第一开口用于在所述OLED面板的第二功能区域上蒸镀形成功能层，所述蒸镀掩膜板的第二开口用于在所述OLED面板的观察层上蒸镀形成监控结构，所述监控结构用于监控所述第一开口的蒸镀效果。

本发明还提供一种蒸镀监控方法，所述蒸镀监控方法包括：