[发明专利]一种混合废光阻清洗剂的回收方法及装置在审
| 申请号： | 201710907144.9 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN107797395A | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 杨水清;庄可;滕海俊;蒋世平;徐康 | 申请（专利权）人： | 江苏盈天化学有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/42 |
| 代理公司： | 常州市华信天成专利代理事务所(普通合伙)32294 | 代理人： | 肖兴江 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及电子行业混合物溶剂回收再生利用技术领域，具体地说，是一种混合废光阻清洗剂的回收方法，采用金属烧结滤芯过滤装置将混合废光阻清洗剂过滤，再将滤液经闪蒸后分离成高沸组分和轻组分，再分别将高沸组分和轻组分经过精馏后得到单一组分。本发明针对混合废光阻清洗剂，在保证产品品质和收率的前提下，提高了回收效率，实现了资源回收再利用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 混合 废光阻清 洗剂 回收 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种混合废光阻清洗剂的回收方法，其特征在于，采用金属烧结滤芯过滤装置将混合废光阻清洗剂过滤，再将滤液经闪蒸后分离成高沸组分和轻组分，再分别将高沸组分和轻组分经过精馏后得到单一组分，所述的混合废光阻清洗剂为水、四氟丙醇、丙二醇单甲醚、环己酮、N,N‑二甲基乙酰胺、N‑甲基‑2‑吡咯烷酮的混合物，其中水占总混合废光阻清洗剂质量百分数的1％～10％，闪蒸过程的温度为130～135℃。
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