[发明专利]一种混合废光阻清洗剂的回收方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及电子行业混合物溶剂回收再生利用技术领域，具体地说，是一种混合废光阻清洗剂的回收方法及装置。

背景技术

电子行业中，为了制造液晶显示器(LCD)电路或半导体集成电路内所用的微小电路图案，一般在基板上涂覆一种包括聚合物树脂，感光化合物和溶剂的光阻组合物，后经过温烘、辐射显影、热烤、蚀刻等步骤完成电路图案制作；而在进行下一步制作时又必须把固化光阻层去除掉，现行业内基本采用化学法即光阻清洗剂去除法；同时涂布机清洗、玻璃基板边缘清洗、机台管路清洗等都大量使用光阻清洗剂，伴随着近年电子行业的发展，所使用的基板亦在朝大型化方向发展，因此光阻清洗剂的使用量亦在增大。因此，就经济、环保方面考虑，必须对使用过后的混合光阻清洗剂进行回收再利用。

专利CN201417363Y公开了一种光阻液的循环回收装置，其利用复数个混合桶的设计而获得较为充分的缓冲空间，这样不仅可以针对预备桶上回收的光阻液进行有效的回收，更可储备较多处理后的光阻液以供后续利用；再者，在处理过程中利用抽真空装置以及恒温装置的设计，能够避免在搅拌过程中产生气泡及温度提高而影响产品品质，从而使回收处理过后的光阻液品质更加稳定且使用寿命更长。

专利CN106773536A公开了一种溶剂回收系统和方法以及涂布机和涂布光阻的方法，其利用蒸馏罐、液化冷却罐和过滤器，将待回收的含有光阻和溶剂的混合废液在蒸馏罐中进行蒸馏以使光阻和所述溶剂气化以与光阻分离，气化后的溶剂依次经液化冷却罐进行冷却并经所述过滤器进行过滤除杂；能够对含有光阻的混合废液中的溶剂进行有效回收，从而能够节约溶剂供给成本，节能环保极具工业应用前景。

专利CN103728846A公开了一种去光阻液回收系统，包括薄膜蒸发器、过滤装置、回收槽、排放管路、流入管路、排渣管路以及回收管路，其中排放管路的一端接设于薄膜蒸发器的出液口，另一端接设于过滤装置的流入口；流入管路的一端接设于过滤装置的流出口，另一端则接设于薄膜蒸发器的进液口；排渣管路一端连通于排放管路，另一端则连通于流入管路；回收管路一端接设于过滤装置的排渣口，另一端则接设于回收槽的回收口，前述各个装置借由各个管路相互连结后，便组成了一个去光阻液的回收系统；利用去光阻液回收系统进行废渣排放作业时，去光阻液自过滤装置的流出口进入于过滤装置内，并将废渣带走，经由排渣口流入回收管路中，再流入回收槽中进行回收。

上述已知光阻液回收方法均适用于单一种类的光阻废液，而由于光阻液种类繁多，各生产车间使用种类不同使用量也有很大差异，考虑到设备成本必然会产生大量混合废光阻清洗剂；且普通过滤装置对于过滤胶状固形物有很大难度，严重影响回收效率。因此，就经济方面、环境方面考虑，业界均期望对于混合废光阻清洗剂的回收系统能够有一套更有效率的方式来进行回收。

发明内容

本发明为了克服上述技术问题的不足，提供了一种电子行业混合废光阻清洗剂溶剂回收再生利用方法得到单一组分的溶剂，本发明以混合废光阻清洗剂为原料经过滤、闪蒸再精馏的方式进行回收分离成各单一组分，解决上述技术问题的技术方案如下：

一种混合废光阻清洗剂的回收方法，采用金属烧结滤芯过滤装置将混合废光阻清洗剂过滤，再将滤液经闪蒸后分离成高沸组分和轻组分，再分别将高沸组分和轻组分经过精馏后得到单一组分，所述的混合废光阻清洗剂为水、四氟丙醇、丙二醇单甲醚、环己酮、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮的混合物，其中水占总混合废光阻清洗剂质量百分数的1％～10％，闪蒸过程的温度为130～135℃，其中，过滤前用清液混合硅藻土助滤剂循环在金属烧结滤芯上形成1～10cm厚滤饼，过滤后采用氮气或压缩空气加压吹扫去除残留混合废光阻清洗剂。

本发明还提供了这种混合废光阻清洗剂的回收装置，包括金属烧结滤芯过滤装置、滤液缓存罐、闪蒸罐、高沸精馏系统和轻组分精馏系统，所述的金属烧结滤芯过滤装置的进料口与过滤进料泵通过管道连接，出料口与滤液缓存罐的进料口连接，所述的滤液缓存罐的出料口与闪蒸罐进料泵通过管道连接，所述的闪蒸罐进料泵将滤液输送至闪蒸罐内部，所述的闪蒸罐的上部为轻组分，下部为高沸组分，所述的轻组分出口与轻组分精馏系统连接，所述的高沸组分出口与高沸组分精馏系统连接。