[发明专利]一种混合废光阻清洗剂的回收方法及装置

权利要求书

1.一种混合废光阻清洗剂的回收方法，其特征在于，采用金属烧结滤芯过滤装置将混合废光阻清洗剂过滤，再将滤液经闪蒸后分离成高沸组分和轻组分，再分别将高沸组分和轻组分经过精馏后得到单一组分，所述的混合废光阻清洗剂为水、四氟丙醇、丙二醇单甲醚、环己酮、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮的混合物，其中水占总混合废光阻清洗剂质量百分数的1％～10％，闪蒸过程的温度为130～135℃。

2.一种混合废光阻清洗剂的回收装置，其特征在于，包括金属烧结滤芯过滤装置、滤液缓存罐、闪蒸罐、高沸精馏系统和轻组分精馏系统，所述的金属烧结滤芯过滤装置的进料口与过滤进料泵通过管道连接，出料口与滤液缓存罐的进料口连接，所述的滤液缓存罐的出料口与闪蒸罐进料泵通过管道连接，所述的闪蒸罐进料泵将滤液输送至闪蒸罐内部，所述的闪蒸罐的上部为轻组分，下部为高沸组分，所述的轻组分出口与轻组分精馏系统连接，所述的高沸组分出口与高沸组分精馏系统连接。

3.根据权利要求2所述的回收装置，其特征在于，所述的轻组分精馏系统包括轻组分精馏塔，所述的轻组分精馏塔的顶部与轻组分精馏塔产品接收罐通过第一管道连接，所述的轻组分精馏塔的底部与第一塔釜再沸器通过管道连接，所述的轻组分精馏塔的进口与闪蒸罐的轻组分出口通过管道连接，该连接管道上还设置一轻组分精馏塔进料控制阀控制轻组分精馏塔的进料速率。

4.根据权利要求3所述的回收装置，其特征在于，所述的第一管道上还依次设置有轻组分精馏塔塔顶冷凝器和轻组分精馏塔塔顶回流控制器。

5.根据权利要求2所述的回收装置，其特征在于，所述的高沸组分精馏系统包括高沸组分精馏塔，所述的高沸组分精馏塔的顶部与高沸组分精馏塔产品接收罐通过第二管道连接，所述的高沸组分精馏塔的底部与第二塔釜再沸器通过管道连接，所述的高沸组分精馏塔的进口与闪蒸罐的高沸组分出口通过管道连接，该连接管道上还设置一高沸组分精馏塔进料控制阀和高沸组分进料泵配合控制高沸组分精馏塔的进料速率。

6.根据权利要求5所述的回收装置，其特征在于，所述的第二管道上还依次设置有高沸组分精馏塔塔顶冷凝器和高沸组分精馏塔塔顶回流控制器。

7.根据权利要求2所述的回收装置，其特征在于，所述的金属烧结滤芯过滤装置采用金属烧结滤芯，材质为304不锈钢或316不锈钢，长度为0.5～2m，直径为2～20cm。

8.根据权利要求3所述的回收装置，其特征在于，所述的轻组分精馏塔为陶瓷波纹填料，控制塔顶回流比为1～10:1。

9.根据权利要求5所述的回收装置，其特征在于，所述的高沸组分精馏塔为板式塔，理论塔板数为40～60，塔顶回流通过工业回流比控制器控制，控制塔顶回流比为1～10:1。

10.根据权利要求2所述的回收装置，其特征在于，整个回收过程为间歇式操作。