[发明专利]电子部件输送装置及电子部件检查装置在审
| 申请号: | 201710885802.9 | 申请日: | 2017-09-26 |
| 公开(公告)号: | CN107884698A | 公开(公告)日: | 2018-04-06 |
| 发明(设计)人: | 中村敏 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
| 代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人: | 张永明,玉昌峰 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 提供当把持部解除电子部件的吸附把持时能够对电子部件施加适当的力的电子部件输送装置及电子部件检查装置,具有能够吸附把持电子部件的开口部以及与所述开口部连通的第一流路,能够配置所述流路的流路截面积不同的多个把持部,并具备第一压力产生源,产生低于大气压的第一压力;第二压力产生源,产生高于大气压的第二压力;切换部,经由能够与所述第一流路连通的第二流路,连接于所述第一压力产生源及所述第二压力产生源,能够切换所述第二流路的压力;压力调整部,设置在所述切换部和所述第二压力产生源之间,能够调整所述第一流路的压力;以及压力检测部,设置在所述把持部和所述切换部之间,能够检测所述把持部和所述切换部之间的压力。 | ||
| 搜索关键词: | 电子 部件 输送 装置 检查 | ||
【主权项】:
一种电子部件输送装置,其特征在于,所述电子部件输送装置具有能够吸附把持电子部件的开口部以及与所述开口部连通的第一流路,并能够配置所述流路的流路截面积不同的多个把持部,所述电子部件输送装置具备:第一压力产生源,产生比大气压低的第一压力;第二压力产生源,产生比大气压高的第二压力;切换部,经由能够与所述第一流路连通的第二流路,连接于所述第一压力产生源及所述第二压力产生源;压力调整部,设置在所述切换部和所述第二压力产生源之间,能够调整所述第一流路的压力;以及压力检测部,设置在所述把持部和所述切换部之间,能够检测出所述把持部和所述切换部之间的压力。
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