[发明专利]电子部件输送装置及电子部件检查装置

权利要求书

1.一种电子部件输送装置，其特征在于，

所述电子部件输送装置具有能够吸附把持电子部件的开口部以及与所述开口部连通的第一流路，并能够配置所述流路的流路截面积不同的多个把持部，

所述电子部件输送装置具备：

第一压力产生源，产生比大气压低的第一压力；

第二压力产生源，产生比大气压高的第二压力；

切换部，经由能够与所述第一流路连通的第二流路，连接于所述第一压力产生源及所述第二压力产生源；

压力调整部，设置在所述切换部和所述第二压力产生源之间，能够调整所述第一流路的压力；以及

压力检测部，设置在所述把持部和所述切换部之间，能够检测出所述把持部和所述切换部之间的压力。

2.根据权利要求1所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述压力调整部根据所述压力检测部的检测结果来调整所述流路的压力。

3.根据权利要求1或2所述的电子部件输送装置，其特征在于，

在所述压力调整部的与所述第二压力产生源相反的一侧，分别连接有多个所述压力检测部以及所述切换部。

4.根据权利要求3所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述压力调整部进行调整，以使所述各把持部的所述流路的压力差在预定值以内。

5.根据权利要求3所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述压力调整部在一起切换各所述切换部与以彼此不同的定时切换的各所述切换部的情况下能够使所述第一流路的压力不同。

6.根据权利要求1或2所述的电子部件输送装置，其特征在于，

所述切换部能够调整所述第二压力产生源对所述把持部产生所述第二压力的时间。

7.一种电子部件输送装置，其特征在于，具备：

安装部，具有流体能够流通的流路，能够使所述流路为负压而吸附把持电子部件，并能够安装所述流路的流路截面积不同的多个把持部；

负压产生源，产生负压；

正压产生源，产生正压；

切换部，使所述流路内的压力在正压与负压间切换；

压力调整部，调整由所述正压产生源产生的正压的压力；以及

压力检测部，检测出在所述把持部安装于所述安装部的状态下的所述流路的压力。

8.一种电子部件检查装置，其特征在于，

所述电子部件检查装置具有能够吸附把持电子部件的开口部以及与所述开口部连通的第一流路，并能够配置所述流路的流路截面积不同的多个把持部，

所述电子部件检查装置具备：

第一压力产生源，产生比大气压低的第一压力；

第二压力产生源，产生比大气压高的第二压力；

切换部，经由能够与所述第一流路连通的第二流路连接于所述第一压力产生源以及所述第二压力产生源，并能够切换所述第二流路的压力；

压力调整部，设置在所述切换部和所述第二压力产生源之间，并能够调整所述第一流路的压力；

压力检测部，设置在所述把持部和所述切换部之间，能够检测所述把持部和所述切换部之间的压力；以及

检查部，检查所述电子部件。