[发明专利]电子部件输送装置及电子部件检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及电子部件输送装置及电子部件检查装置。

背景技术

以往，已知检查例如IC器件等的电子部件的电特性的电子部件检查装置，在该电子部件检查装置中安装有用于输送IC器件的电子部件输送装置(例如，参照专利文献1)。

专利文献1记载的电子部件检查装置具备具有能够吸附把持IC器件的流路的吸嘴。在吸嘴连接有真空吸入电路，并能在吸引或吸引解除间切换。由此，吸嘴能够进行IC器件的把持或解除。

另外，在专利文献1记载的电子部件检查装置中，构成为根据设于真空吸入电路并用于检测真空吸入电路内的空气流量的流量计的检测结果，切换IC器件的把持或解除的定时。由此，能够减少从吸嘴真空吸入异物的影响，并确保稳定的安装动作。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-193191号公报

但是，在专利文献1记载的电子部件检查装置中，构成为根据真空吸入电路内的流量切换IC器件的把持或解除的定时。因此，例如在将吸嘴换成真空吸入电路内的截面积不同的吸嘴的情况下，就不能根据空气的流量在正确的定时进行IC器件的把持、解除的切换。

特别地，在吸嘴的直径为可变的情况等时，内腔部321的流速因流路截面积的大小而变化。其结果，难以设置适于解除吸附把持的流量。此时，在解除了IC器件的吸附把持之后，从吸嘴吹出较快流速的空气，吹走被准确地容纳在容纳袋的IC器件。其结果，IC器件成为没有准确地在袋中落座的姿势，导致在下一工序中产生无法吸附的错误(JAM：堵塞)。

发明内容

本发明用于解决上述问题的至少一部分，并且可以作为以下方式或应用例实现。

本发明的电子部件输送装置的特征在于，具有能够吸附把持电子部件的开口部以及与所述开口部连通的第一流路，能够配置所述流路的流路截面积不同的多个把持部，并具备：

第一压力产生源，产生比大气压低的第一压力；

第二压力产生源，产生比大气压高的第二压力；

切换部，经由能够与所述第一流路连通的第二流路连接于所述第一压力产生源以及所述第二压力产生源，能够切换所述第二流路的压力；

压力调整部，设置在所述切换部和所述第二压力产生源之间，能够调整所述第一流路的压力；以及

压力检测部，设置在所述把持部和所述切换部之间，能够检测出所述把持部和所述切换部之间的压力。

由此，把持部解除电子部件的吸附把持时，不会因对电子部件较快的空气流速而吹走落座的电子部件，能够使流路内的压力为大气压以上，并能够可靠地隔离电子部件。其结果，能够可靠地使解除把持的电子部件从把持部分开，并能够防止电子部件过于猛烈地从把持部分开，从而不会因较快的空气流速而吹走落座电子部件，能够使流路内的压力为大气压以上，并能够可靠地隔离电子部件。

优选地，在本发明的电子部件输送装置中，所述压力调整部根据所述压力检测部的检测结果来调整所述流路的压力。

由此，压力调整部能够根据把持部和切换部之间的压力来调整流路内的压力。因此，能够更可靠地对电子部件施加适当的力。

优选地，在本发明的电子部件输送装置中，在所述压力调整部的与所述第二压力产生源相反的一侧，分别连接有多个所述压力检测部以及所述切换部。

由此，即便设置多个把持部，各把持部在解除电子部件的吸附把持时，能够对各电子部件施加适当的力。

优选地，在本发明的电子部件输送装置中，所述压力调整部进行调整，以使所述各把持部的所述流路的压力差为预定值以内。

由此，各把持部解除电子部件的吸附把持时，不会因对各电子部件较快的空气流速而吹走落座电子部件，能够使流路内的压力为大气压以上，并能够可靠地隔离电子部件。

优选地，在本发明的电子部件输送装置中，所述压力调整部能够在一起切换所述各切换部与以彼此不同的定时切换所述各切换部的情况下使所述第一流路的压力不同。

由此，各把持部解除电子部件的吸附把持时，不会因对各电子部件较快的空气流速而吹走落座电子部件，能够使流路内的压力为大气压以上，并能够可靠地隔离电子部件。

优选地，在本发明的电子部件输送装置中，所述切换部能够调整所述第二压力产生源对所述把持部产生所述第二压力的时间。