[发明专利]动态随机存取存储器及其制造方法

摘要

本发明提供一种动态随机存取存储器及其制造方法，所述动态随机存取存储器包括衬底、隔离结构、埋入式字线结构以及多个第一鳍型结构。隔离结构位于所述衬底中，定义出沿第一方向排列成一列的多个主动区域。所述埋入式字线结构位于衬底内，沿第一方向延伸，跨过多个主动区域和隔离结构。所述多个第一鳍型结构，位于多个主动区域与埋入式字线结构相交的区域中，沿第一方向排列成一列，并被所述埋入式字线结构环绕包覆。

主权项

1.一种动态随机存取存储器，包括：衬底；隔离结构，位于所述衬底中，所述隔离结构定义出多个主动区域，其沿第一方向排列成一列；埋入式字线结构，位于所述衬底内，沿所述第一方向延伸，跨过所述多个主动区域和所述隔离结构；以及多个第一鳍型结构，位于所述主动区域与所述埋入式字线结构相交的区域中，沿所述第一方向排列成一列，并被所述埋入式字线结构环绕包覆。