[发明专利]一种有机发光显示屏及其制造方法

摘要

本发明有机发光显示屏制造方法采用自对准刻蚀方法取代传统的高精度金属掩模板(FMM)蒸镀方式，来形成图形化的各子像素有机发光层。由于各子像素有机发光层分开形成，且形成自对准刻蚀用的掩膜层的光刻胶掩膜层通过光刻工艺形成，其精度远远大于FMM精度，因此掩膜层的精度也远远大于FMM精度，因此本发明制造的有机发光显示屏像素密度显著提高。

主权项

1.一种有机发光显示屏的制造方法，其特征在于，包括：S1、在基板上定义n种颜色子像素区域，n为大于1的正整数，并且在基板上表面形成各子像素的阳极层；S2、依次沉积第I子像素有机材料、阴极材料、掩膜材料以覆盖所述阳极层及各阳极层之间的基板，I为[1，n]中任一值；S3、确定出第I子像素阳极层，在所述第I子像素阳极层上方的掩膜材料上形成光刻胶掩膜层；S4、以所述光刻胶掩膜层为掩膜，刻蚀掩膜材料，形成第I子像素掩膜层；S5、以所述第I子像素掩膜层为掩膜，刻蚀所述阴极材料及第I子像素有机材料，形成所述第I子像素阴极层及有机发光层；S6、调整I的值，并返回执行上述步骤S2至S5，直至形成所有子像素的有机发光层；S7、基于以上步骤的结果来加工形成有机发光显示屏。