[发明专利]一种多晶硅生产用氯化氢合成炉节能装置

摘要

本发明涉及多晶硅生产技术领域，且公开了一种多晶硅生产用氯化氢合成炉节能装置，包括机体，机体的一端固定连接有贯穿并延伸至机体内部的进气管，机体的内部设置有隔热层，隔热层的内部开设有第一回收腔，第一回收腔的内部固定连接有换热管道，换热管道的两端均固定连接有连接法兰。该多晶硅生产用氯化氢合成炉节能装置，通过设置换热管道，大幅度回收氯化氢合成炉燃烧废气中的热能，在换热管道中灌入冷水，高温的气体在经过第一回收腔时，冷水吸收气体的温度对气体进行冷却降温，同时冷水利用气体的温度提升水温，通过出水口流出用于其它生产工序，从而保证了该多晶硅生产用氯化氢合成炉节能装置的回收效果。

主权项

一种多晶硅生产用氯化氢合成炉节能装置，包括机体(1)，所述机体(1)的一端固定连接有贯穿并延伸至机体(1)内部的进气管(2)，其特征在于：所述机体(1)的内部设置有隔热层(4)，所述隔热层(4)的内部开设有第一回收腔(3)，所述第一回收腔(3)的内部固定连接有换热管道(5)，所述换热管道(5)的两端均固定连接有连接法兰(6)，所述换热管道(5)的一端通过连接法兰(6)固定连接有进水口(7)，所述进水口(7)的一端固定连接有上集水箱(9)，所述换热管道(5)的另一端通过连接法兰(6)固定连接有出水口(8)，所述出水口(8)的一端固定连接有下集水箱(10)，所述第一回收腔(3)远离进气管(2)的一侧固定连接有出气管(11)，所述第一回收腔(3)的一侧设置有位于机体(1)内部的第二回收腔(16)，所述出气管(11)的一端固定连接有位于第二回收腔(16)内部的气泵(15)，所述气泵(15)的一端通过第一水管(17)固定连接有净化水箱(19)，所述净化水箱(19)通过第二水管(20)固定连接有消音装置(18)。