[发明专利]一种多晶硅生产用氯化氢合成炉节能装置

权利要求书

1.一种多晶硅生产用氯化氢合成炉节能装置，包括机体(1)，所述机体(1)的一端固定连接有贯穿并延伸至机体(1)内部的进气管(2)，其特征在于：所述机体(1)的内部设置有隔热层(4)，所述隔热层(4)的内部开设有第一回收腔(3)，所述第一回收腔(3)的内部固定连接有换热管道(5)，所述换热管道(5)的两端均固定连接有连接法兰(6)，所述换热管道(5)的一端通过连接法兰(6)固定连接有进水口(7)，所述进水口(7)的一端固定连接有上集水箱(9)，所述换热管道(5)的另一端通过连接法兰(6)固定连接有出水口(8)，所述出水口(8)的一端固定连接有下集水箱(10)，所述第一回收腔(3)远离进气管(2)的一侧固定连接有出气管(11)，所述第一回收腔(3)的一侧设置有位于机体(1)内部的第二回收腔(16)，所述出气管(11)的一端固定连接有位于第二回收腔(16)内部的气泵(15)，所述气泵(15)的一端通过第一水管(17)固定连接有净化水箱(19)，所述净化水箱(19)通过第二水管(20)固定连接有消音装置(18)。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产用氯化氢合成炉节能装置，其特征在于：所述消音装置(18)包括第一消声室(181)，所述第一消声室(181)的内部设置有消声片(182)，所述第一消声室(181)的出口固定连接有吸音棉(183)，所述吸音棉(183)的下表面固定连接有第二消声室(184)，所述第二消声室(184)的外侧设置有消声壁(185)，所述第二消声室(184)的底端固定连接有出气口(186)。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产用氯化氢合成炉节能装置，其特征在于：所述出气管(11)的内部依次固定连接有过滤网层(12)、活性炭层(13)和滤纸层(14)。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产用氯化氢合成炉节能装置，其特征在于：所述第一水管(17)远离气泵(15)的一端延伸至净化水箱(19)的液体内。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产用氯化氢合成炉节能装置，其特征在于：所述隔热层(4)为石棉板。

6.根据权利要求2所述的一种多晶硅生产用氯化氢合成炉节能装置，其特征在于：所述消声片(182)的数量为五个，五个消声片(182)等间距固定连接在第一消声室(181)内壁的两侧。