[发明专利]发光二极管及其制作方法

摘要

本发明公开了一种发光二极管及其制作方法，包括：衬底、缓冲层、非故意掺杂层、第一掺杂层、第一重掺杂层、第一欧姆接触层、第一高掺杂层、第一隔离层、第二掺杂层、第一电流阻挡层、有源区、第二电流阻挡层、第三掺杂层、第二欧姆接触层、透明导电层以及第一电极、第二电极和第二保护层；第二掺杂层包括第一平台，第一高掺杂层包括第二平台，第一欧姆接触层包括第三平台，且第一平台、第二平台、及第三平台的表面粗糙度不同；第一电极与第一平台、第二平台、以及第三平台直接接触，第一电极和第二电极通过第二保护层电性隔离。本发明中发光二级管的制作过程简单，降低了芯片的制作成本，并有效的解决了发光二极管电流拥挤的问题。

主权项

1.一种发光二极管，其特征在于，包括：衬底，以及依次位于所述衬底表面上的缓冲层、非故意掺杂层、第一掺杂层、第一重掺杂层、第一欧姆接触层、第一高掺杂层、第一隔离层、第二掺杂层、第一电流阻挡层、有源区、第二电流阻挡层、第三掺杂层、第二欧姆接触层；其中，所述第一掺杂层、所述第一重掺杂层、所述第一欧姆接触层、所述第一高掺杂层、所述第一隔离层、所述第二掺杂层、以及所述第一电流阻挡层的掺杂类型相同，所述第三掺杂层与所述第一掺杂层的掺杂类型不同；所述第二掺杂层包括第一平台，所述第一平台暴露出部分所述第二掺杂层材料；所述第一高掺杂层包括第二平台，所述第二平台暴露出部分所述第一高掺杂层材料；所述第一欧姆接触层包括第三平台，所述第三平台暴露出部分所述第一欧姆接触层材料；并且，所述第一平台、所述第二平台、及所述第三平台的表面粗糙度不同，具体的，所述第一平台的粗糙度大于所述第二平台的粗糙度，所述第二平台的粗糙度大于所述第三平台的粗糙度；与所述第一平台、所述第一隔离层的侧壁、所述第二平台、以及所述第三平台直接接触的第一电极；位于所述第二欧姆接触层表面上的透明导电层；位于所述第二欧姆接触层表面上的第二电极，所述第二电极与所述透明导电层的侧壁直接接触；位于所述第一电极和所述第二掺杂层、所述第一电流阻挡层、所述有源区、所述第二电流阻挡层、所述第三掺杂层、所述第二欧姆接触层、所述透明导电层之间的第二保护层，用于将所述第一电极与所述第二掺杂层、所述第一电流阻挡层、所述有源区、所述第二电流阻挡层、所述第三掺杂层、所述第二欧姆接触层、以及所述透明导电层电性隔离。