[发明专利]应变计制造的方法和系统有效
| 申请号： | 201710811754.9 | 申请日： | 2017-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN107814354B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | S·A·伯格伦 | 申请（专利权）人： | 通用汽车环球科技运作有限责任公司 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 邓雪萌 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种应变计制造的方法。该方法包括：提供第一基底，该第一基底具有空腔侧；提供第二基底，该第二基底具有半导体侧；相对于第一基底定位第二基底，以使得半导体侧和空腔侧是可接触的；处理第二基底以使得第一和第二基底基本上经由半导体侧和空腔侧结合；以及蚀刻第二基底，以限定悬置在第一基底的空腔侧之上的应变计。 | ||
| 搜索关键词： | 应变 制造 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种应变计制造的方法，所述方法包括：(a)提供第一基底，所述第一基底具有空腔侧；(b)提供第二基底，所述第二基底具有半导体侧；(c)相对于所述第一基底定位所述第二基底，以使得所述半导体侧和所述空腔侧是可接触的；(d)处理所述第二基底以使得所述第一和第二基底基本上经由所述半导体侧和所述空腔侧结合；以及(e)蚀刻所述第二基底，以限定悬置在所述第一基底的所述空腔侧之上的应变计。
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