[发明专利]标靶燃料产生器及供应标靶燃料的方法有效
| 申请号： | 201710794556.6 | 申请日： | 2017-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN109461671B | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 钟仁阳;谢劼;简上杰;陈立锐;郑博中 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李昕巍;章侃铱 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明部分实施例提供一种标靶燃料产生器及供应标靶燃料的方法。标靶燃料产生器包括一储存组件和喷嘴组件。储存组件具有一流道。标靶燃料产生器还包括一喷嘴组件。喷嘴组件以可旋转于一第一旋转角度与一第二旋转角度的方式连结储存组件。并且，喷嘴组件包括一第一喷嘴头以及一第二喷嘴头。在第一旋转位置上，第一喷嘴头连结流道且第二喷嘴头与流道分离，并且在第二旋转位置上，第二喷嘴头连通流道且第一喷嘴头与流道分离。 | ||
| 搜索关键词： | 燃料 产生器 供应 方法 | ||
【主权项】：
1.一种标靶燃料产生器，包括：一储存组件，具有一流道；一喷嘴组件，以可旋转于一第一旋转位置与一第二旋转位置的方式连结该储存组件，且包括一第一喷嘴头以及一第二喷嘴头，在该第一旋转位置上，该第一喷嘴头连结该流道且该第二喷嘴头与该流道分离，并且在该第二旋转位置上，该第二喷嘴头连通该流道且该第一喷嘴头与该流道分离。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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