[发明专利]一种基于特定形貌、尺寸分级结构金属氧化物的MEMS气体传感芯片及其制造方法

摘要

本发明公开了一种基于特定形貌、尺寸分级结构金属氧化物的MEMS气体传感芯片及其制造方法，包括以下步骤1)制备具有特定形貌、尺寸的金属氧化物敏感材料；2)将1)制得的敏感材料与纳米级金属氧化物混合，加入贵金属得到掺杂的分级结构敏感材料；3)将2)制得的分级敏感材料与溶剂、保湿剂、分散剂、表面活性剂、pH调节剂混合，搅拌脱泡得到均一分散的多组分浆料；4)将3)制得的浆料喷涂于MEMS微加热盘上，经过低温、高温热处理形成均匀敏感膜层，制成MEMS气体传感芯片。本发明的分级结构敏感材料灵敏度高，可批量合成；形成的敏感膜层稳定均匀，一致性好，材料用量少；对VOCs有较高响应，有望广泛应用于智能家居、医疗、手机与手环中。

主权项

一种基于特定形貌、尺寸分级结构金属氧化物的MEMS气体传感芯片的制造方法，其特征在于，包含如下步骤：步骤一、制备具有特定形貌、尺寸的金属氧化物敏感材料；步骤二、将步骤一制得的金属氧化物敏感材料与纳米级金属氧化物混合，加入贵金属前躯体得到贵金属掺杂的分级结构金属氧化物敏感材料；步骤三、将步骤二制得的分级结构金属氧化物敏感材料与溶剂、保湿剂、分散剂、表面活性剂、pH调节剂混合，搅拌脱泡得到均一分散的多组分敏感浆料；步骤四、将步骤三制得的多组分敏感浆料涂覆于MEMS微加热盘上，经过低温烘烤和高温热处理工艺制备形成稳定均匀的敏感膜层，制成MEMS气体传感芯片。