[发明专利]光学临近修正的建模方法及用于其的图形权重生成方法

摘要

本发明提供一种光学临近修正的建模方法及用于其的图形权重生成方法。所述光学临近修正的建模方法包括：基于量测文件中多种量测图形各自的多个测量值构建量测矩阵；对所述量测矩阵进行特征分解以得到特征值；以及基于所述特征值生成针对所述多种量测图形各自的权重。本发明所提供的用于光学临近修正建模的图形权重生成方法通过定量的方式设置量测文件中各种量测图形的权重，与传统的定性设置权重的方式相比，能够更接近最优的权重，从而使得基于其的光学临近修正的建模过程中所需的迭代次数显著减少，从而缩短建模时间，提高建模效率和模型的精确度。

主权项

1.一种用于光学临近修正建模的图形权重生成方法，其特征在于，所述方法包括：基于量测文件中多种量测图形各自的多个测量值构建量测矩阵；对所述量测矩阵进行特征分解以得到特征值；以及基于所述特征值生成针对所述多种量测图形各自的权重。