[发明专利]主动阵列开关基板及其显示面板

摘要

本发明提供一种主动阵列开关基板及其显示面板，主动阵列开关基板包括：基板，多个主动开关，形成于基板上，主动开关包括：栅极电极结构；绝缘保护层，形成于所述栅极电极结构上；有源层，形成于所述绝缘保护层上；源极电极层，形成于所述有源层的一侧上，与所述有源层形成欧姆接触；漏极电极层，形成于所述有源层的另一侧上，与所述有源层形成欧姆接触；第一浓度掺杂层，形成于所述有源层上、与所述源极电极层及所述漏极电极层之间；钝化层，覆盖于所述有源层、所述源极电极层与所述漏极电极层上；以及像素电极层，覆盖于所述钝化层与所述漏极电极层上。其可提高有源层载流子迁移率，并降低主动阵列开关基板的漏电流。

主权项

1.一种主动阵列开关基板，其特征在于，包括：/n一基板；/n多个主动开关，所述主动开关形成于所述基板上，每一所述主动开关包括：/n一栅极电极结构；/n一绝缘保护层，形成于所述栅极电极结构上；/n一有源层，形成于所述绝缘保护层上，其中所述有源层填充有硅锗氧化物，所述硅锗氧化物的纳米晶体颗粒大小为1～20纳米；/n一源极电极层，形成于所述有源层的一侧上，与所述有源层形成欧姆接触；/n一漏极电极层，形成于所述有源层的另一侧上，与所述有源层形成欧姆接触；/n一第一浓度掺杂层，形成于所述有源层上，与所述源极电极层及所述漏极电极层之间；/n一钝化层，覆盖于所述有源层、所述源极电极层与所述漏极电极层上；以及/n一像素电极层，覆盖于所述钝化层与所述漏极电极层上。/n