[发明专利]基板处理装置

摘要

本发明提供一种谋求更加省空间化的基板处理装置。实施方式的基板处理装置具备多个处理单元和气体供给部。多个处理单元层叠地配置，并在腔室内保持基板而利用处理液对基板进行液处理。气体供给部针对每个处理单元设置，并向处理单元的内部供给气体。另外，气体供给部包括引进部和供气部。引进部引进外部空气而使该外部空气清洁化。供气部将被引进部清洁化后的清洁空气向处理单元的内部供气。另外，引进部配置于腔室的侧方，并且，在层叠地配置的处理单元之间配置于腔室的同一侧面。

主权项

一种基板处理装置，其特征在于，该基板处理装置具备：多个处理单元，其层叠地配置，并在腔室内保持基板而利用处理液对所述基板进行液处理；以及气体供给部，其针对各所述处理单元设置，向该处理单元的内部供给气体，所述气体供给部包括：引进部，其将外部空气引进而使该外部空气清洁化；以及供气部，其将被所述引进部清洁化后的清洁空气向所述处理单元的内部供气，所述引进部配置于所述腔室的侧方，并且在层叠地配置的所述处理单元之间配置于所述腔室的同一侧面。