[发明专利]柔性显示面板的制作方法及柔性显示面板

摘要

本发明提供一种柔性显示面板的制作方法及柔性显示面板。该方法先对光阻层进行图案化处理得到多个相互间隔的光阻区域，相邻两个光阻区域之间形成通孔；再以所述光阻区域作为掩膜对柔性衬底基板进行挖槽处理，在所述通孔的对应的位置形成多个相互平行的衬底凹槽；接着沉积金属薄膜后去除光阻区域及其上的金属层，得到分别嵌入所述多个相互平行的衬底凹槽内的多个金属图案，每一金属图案包括扫描线、及多个栅极；然后制作出呈阵列式排布的多个TFT、及OLED发光元件。该方法使得扫描线及栅极嵌入在柔性衬底基板内，能够有效减少扫描线在柔性显示面板发生弯折时产生的应力缺陷，提高柔性显示面板的稳定性。

主权项

1.一种柔性显示面板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1、提供一柔性衬底基板(1)，并在所述柔性衬底基板(1)上沉积光阻层(2)；步骤S2、对所述光阻层(2)进行图案化处理，形成多个相互间隔的光阻区域(20)，相邻两个光阻区域(20)之间形成通孔(21)；步骤S3、以所述光阻区域(20)作为掩膜，对所述柔性衬底基板(1)进行挖槽处理，在所述通孔(21)的对应的位置形成多个相互平行的衬底凹槽(11)；步骤S4、在光阻区域(20)及柔性衬底基板(1)上沉积金属薄膜并做图案化处理，形成覆盖所述光阻区域(20)的金属层(31)、及分别嵌入所述多个相互平行的衬底凹槽(11)内的多个金属图案(32)；每一金属图案(32)包括扫描线(321)、及与所述扫描线(321)连接的多个栅极(322)；步骤S5、剥离所述光阻区域(20)以去除光阻区域(20)及光阻区域(20)上的金属层(31)；步骤S6、在柔性衬底基板(1)与各个嵌入衬底凹槽(11)内的金属图案(32)上制作出呈阵列式排布的多个TFT(T)，并在所述呈阵列式排布的多个TFT(T)上沉积OLED发光元件(D)。