[发明专利]柔性显示面板的制作方法及柔性显示面板

说明书

本发明提供一种柔性显示面板的制作方法及柔性显示面板。该方法先对光阻层进行图案化处理得到多个相互间隔的光阻区域，相邻两个光阻区域之间形成通孔；再以所述光阻区域作为掩膜对柔性衬底基板进行挖槽处理，在所述通孔的对应的位置形成多个相互平行的衬底凹槽；接着沉积金属薄膜后去除光阻区域及其上的金属层，得到分别嵌入所述多个相互平行的衬底凹槽内的多个金属图案，每一金属图案包括扫描线、及多个栅极；然后制作出呈阵列式排布的多个TFT、及OLED发光元件。该方法使得扫描线及栅极嵌入在柔性衬底基板内，能够有效减少扫描线在柔性显示面板发生弯折时产生的应力缺陷，提高柔性显示面板的稳定性。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性显示面板的制作方法及柔性显示面板。

背景技术

在显示技术领域，液晶显示面板(Liquid Crystal Display，LCD)与有机发光二极管显示面板(Organic Light Emitting Diode，OLED)等平板显示装置已经逐步取代CRT显示器。

进一步地，液晶显示面板由一彩色滤光片(Color Filter，CF)基板、一薄膜晶体管阵列基板(Thin Film Transistor Array Substrate，TFT Array Substrate)、以及一填充于两基板间的液晶层(Liquid Crystal Layer)所构成，且CF基板与TFT基板均采用刚性的玻璃作为衬底，所以平板形式的液晶显示面板不可弯折。

OLED显示面板则是一种柔性显示面板。柔性显示面板是采用柔性材料制成，能够在任意弯曲变形的状态下进行显示。由于OLED等柔性显示面板具有重量轻、体积小、薄型化、便携、耐高低温、耐冲击、抗震能力更强、适应的工作环境更广、可卷曲，外形更有艺术美感等优点，近年来成为了国内外高校和研究机构研究的热点。

现有技术中的柔性显示面板通常包括柔性基板、于柔性基板一侧设在柔性基板表面上的TFT阵列、发光元件、以及驱动TFT阵列的驱动电路，所述驱动TFT阵列的驱动电路又包括扫描线等。当现有的柔性显示面板发生弯折时，包括扫描线在内的驱动电路也会随之在柔性基板表面发生弯折，产生应力缺陷，影响TFT和发光元件的正常工作。

因此，现有技术仍有待改善和发展。

发明内容

本发明的目的在于提供一种柔性显示面板的制作方法，能够有效减少扫描线在柔性显示面板发生弯折时产生的应力缺陷，提高柔性显示面板的稳定性。

本发明的另一目的在于提供一种柔性显示面板，其中的扫描线在柔性显示面板发生弯折时产生的应力缺陷较少，使得柔性显示面板的稳定性较高。

为实现上述目的，本发明首先提供一种柔性显示面板的制作方法，包括如下步骤：

步骤S1、提供一柔性衬底基板，并在所述柔性衬底基板上沉积光阻层；

步骤S2、对所述光阻层进行图案化处理，形成多个相互间隔的光阻区域，相邻两个光阻区域之间形成通孔；

步骤S3、以所述光阻区域作为掩膜对所述柔性衬底基板进行挖槽处理，在所述通孔的对应的位置形成多个相互平行的衬底凹槽；

步骤S4、在光阻区域及柔性衬底基板上沉积金属薄膜并做图案化处理，形成覆盖所述光阻区域的金属层、及分别嵌入所述多个相互平行的衬底凹槽内的多个金属图案；

每一金属图案包括扫描线、及与所述扫描线连接的多个栅极；

步骤S5、剥离所述光阻区域以去除光阻区域及光阻区域上的金属层；

步骤S6、在柔性衬底基板与各个嵌入衬底凹槽内的金属图案上制作出呈阵列式排布的多个TFT，并在所述呈阵列式排布的多个TFT上沉积OLED发光元件。