[发明专利]光刻胶树脂溶液、其制备方法及其保存方法在审
| 申请号: | 201710707035.2 | 申请日: | 2017-08-17 |
| 公开(公告)号: | CN109407465A | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
| 发明(设计)人: | 钱晓春;胡春青;葛庆余 | 申请(专利权)人: | 常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力先端电子材料有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/038 |
| 代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 韩建伟;梁文惠 |
| 地址: | 213011 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明提供了光刻胶树脂溶液、其制备方法及其保存方法。该光刻胶树脂溶液包括溶剂和光刻胶树脂,光刻胶树脂溶液还包括稳定剂,稳定剂为抗氧剂或阻聚剂。将抗氧剂或阻聚剂作为稳定剂应用至光刻胶树脂溶液中,起到了稳定作用,使得光刻胶溶液的保存稳定性得以改善。同时,该稳定剂的存在不会对后续光刻胶树脂作为光刻胶应用时的刻蚀精确度形成负面影响,因此不需要在应用时将其分离出来,即不会对光刻胶树脂的应用带来不必要的麻烦。 | ||
| 搜索关键词: | 光刻胶树脂 稳定剂 抗氧剂 阻聚剂 应用 制备 保存稳定性 光刻胶溶液 负面影响 刻胶树脂 光刻胶 保存 刻蚀 溶剂 | ||
【主权项】:
1.一种光刻胶树脂溶液,包括溶剂和光刻胶树脂,其特征在于,所述光刻胶树脂溶液还包括稳定剂,所述稳定剂为抗氧剂或阻聚剂。
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