[发明专利]光刻胶树脂溶液、其制备方法及其保存方法在审

专利信息
申请号: 201710707035.2 申请日: 2017-08-17
公开(公告)号: CN109407465A 公开(公告)日: 2019-03-01
发明(设计)人: 钱晓春;胡春青;葛庆余 申请(专利权)人: 常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力先端电子材料有限公司
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G03F7/038
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 韩建伟;梁文惠
地址: 213011 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 光刻胶树脂 稳定剂 抗氧剂 阻聚剂 应用 制备 保存稳定性 光刻胶溶液 负面影响 刻胶树脂 光刻胶 保存 刻蚀 溶剂
【说明书】:

发明提供了光刻胶树脂溶液、其制备方法及其保存方法。该光刻胶树脂溶液包括溶剂和光刻胶树脂,光刻胶树脂溶液还包括稳定剂,稳定剂为抗氧剂或阻聚剂。将抗氧剂或阻聚剂作为稳定剂应用至光刻胶树脂溶液中,起到了稳定作用,使得光刻胶溶液的保存稳定性得以改善。同时,该稳定剂的存在不会对后续光刻胶树脂作为光刻胶应用时的刻蚀精确度形成负面影响,因此不需要在应用时将其分离出来,即不会对光刻胶树脂的应用带来不必要的麻烦。

技术领域

本发明涉及光刻材料领域,具体而言,涉及一种光刻胶树脂溶液、其制备方法及其保存方法。

背景技术

光刻胶树脂是制备光刻胶的重要原料。光刻胶广泛应用于液晶显示、平板显示等行业,其质量的好坏直接决定显示器显示效果的优劣。而光刻胶树脂的稳定性等特性直接决定光刻胶的应用效果。目前市售的光刻胶树脂,其稀释液的稳定性不是特别好,因此,如何提高光刻胶树脂的存储稳定性,从而提高光刻胶的稳定性显得十分重要。

对于试验所用的树脂,其结构表示如下式a:

式中:R1,R2,R3,R4各自独立地表示氢原子、C1-C5的烷基、卤原子或苯基等基团; R5表示H原子或甲基;A表示-CO-(羰基)、-CH2-、-SO2-、-C(CH3)2-、-O-、-S-、9,9-芴基、9,9-咔唑基等基团中的一种;X表示饱和四羧酸残基;Y1,Y2独立表示H原子、-OC-(COOH)m(m=1,2,3)饱和羧酸基团,n为1~20中的任意一个整数。

我们根据已有文献制备的BM光刻胶树脂,结构与上述结构式类似,主要存在于红、绿、蓝各色光刻胶之间,可以有效避免串色,显著改善图像对比度,使画面色彩看起来更鲜艳;具有精确的分辨率、良好的光透性、良好的机械性能。对LCD显示器的性能同样起着至关重要的作用。

相关树脂的合成方法简述为:

以双酚类衍生物(含有两个缩水甘油醚基团的环氧化合物)与(甲基)丙烯酸反应,生成具有羟基的化合物,再以饱和二羧酸或者四羧酸及其酸酐中的至少一种反应,得到环氧丙烯酸酯和酸的加成产物,即为上式所示结构。

此处双酚类衍生物是具有式b结构特点的环氧化合物:

上式中R1,R2,R3,R4各自独立地表示氢原子、C1-C5的烷基、卤原子或苯基等基团;R5表示H原子或甲基;A表示-CO-(羰基)、-CH2-、-SO2-、-C(CH)2-、-O-、-S-、9,9-芴基和9,9-咔唑基等基团中的一种,优选的取代基团为9,9-芴基。L表示0-10中的任意一个的整数,优选为0、1或2。

另外苯酚酚醛型环氧化合物、甲酚酚醛型环氧化合物等含有两个缩水甘油醚基团的化合物,也可以应用于树脂组合物的合成。

双酚类环氧化合物式c与(甲基)丙烯酸(结构式:CH2=CR5-COOH),按照1/2的mol比反应,合成下述一般式式d所示的双酚型环氧丙烯酸酯。产物式d在合适溶剂中(优选丙二醇单甲醚乙酸酯)与上文提到的酸性成分加热反应,制备出式a所示的相关树脂。式中R1、R2、R3、R4、R5和A与式a中表述一致。

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