[发明专利]成膜装置有效
| 申请号： | 201710666073.8 | 申请日： | 2017-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN107723668B | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 松田祥太;中田博道;佐藤贵康;佐藤羊治;橘和孝;坪井大树 | 申请（专利权）人： | 丰田自动车株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供成膜装置。该成膜装置具有蒸发源、电极及气体通路。蒸发源是具有收容工件的内部空间的金属的筒状。电极配置于蒸发源的内部空间。气体通路从蒸发源的外部空间向蒸发源的内部空间供给气体。气体通路具有位于内部空间的端部。气体通路的端部具有由第一材料构成的第一部位和由第二材料构成的第二部位。第一材料及第二材料具有彼此不同的热膨胀系数。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种成膜装置，具备：蒸发源，是由金属构成的筒状的蒸发源，且具有收容工件的内部空间；电极，配置于所述蒸发源的内部空间；及气体通路，是从所述蒸发源的外部空间向所述蒸发源的内部空间供给气体的气体通路，且具有位于所述内部空间的端部，所述成膜装置构成为通过在所述蒸发源与所述电极之间产生的电弧放电来使从所述蒸发源放出的金属离子堆积于所述工件而进行成膜，其中，所述气体通路的所述端部具有由第一材料构成的第一部位和由第二材料构成的第二部位，所述第一材料及所述第二材料具有彼此不同的热膨胀系数。
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