[发明专利]曝光照明装置有效
| 申请号： | 201710661709.X | 申请日： | 2017-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN107728433B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 末永丰 | 申请（专利权）人： | 横滨领先设计合资会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 陈姗姗;郭栋梁 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种曝光照明装置，所述曝光照明装置1将从具有按规定间隔离散配置的多个LED组件11的光源10射出的光束照射到曝光面80，在多个LED组件11中的每一个的出射侧有多个锥形第1导光体20，沿LED组件11射出的光束的光轴方向70，该多个锥形第1导光体20的尺寸逐渐扩大，并且出射端面22的面积设定为大于光束的入射端面21的面积，从第1导光体20的入射端面21处的LED组件11射出的光束的大小设定为大于第1导光体20的入射端面21。所述曝光照明装置能够确保从按规定间隔离散配置有多个LED组件的光源射出的光束的亮度分布的均匀性和充分的照度，并进行稳定的基板曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 照明 装置 | ||
【主权项】：
一种曝光照明装置，所述曝光照明装置将从光源射出的光束照射到曝光面，所述光源具有按间隔离散配置的多个LED组件，在所述多个LED组件中的每一个的出射侧，所述曝光照明装置具有相邻的多个锥形第1导光体，沿从所述LED组件射出的光束的光轴方向，所述多个锥形第1导光体的尺寸逐渐扩大，并且出射端面的尺寸设定为大于所述光束的入射端面的尺寸，从所述第1导光体的入射端面处的所述LED组件射出的光束的大小，设定为大于所述第1导光体的入射端面。
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