[发明专利]曝光照明装置有效
申请号: | 201710661709.X | 申请日: | 2017-08-04 |
公开(公告)号: | CN107728433B | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
发明(设计)人: | 末永丰 | 申请(专利权)人: | 横滨领先设计合资会社 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 陈姗姗;郭栋梁 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 曝光 照明 装置 | ||
1.一种曝光照明装置,所述曝光照明装置将从光源射出的光束照射到曝光面,所述光源具有按间隔离散配置的多个LED组件,
在所述多个LED组件中的每一个的出射侧,所述曝光照明装置具有相邻的多个锥形第1导光体,沿从所述LED组件射出的光束的光轴方向,所述多个锥形第1导光体的尺寸逐渐扩大,并且出射端面的尺寸设定为大于所述光束的入射端面的尺寸,
从所述第1导光体的入射端面处的所述LED组件射出的光束的大小,设定为大于所述第1导光体的入射端面,
所述LED组件设置于所述第1导光体的入射端面的外侧,
所述LED组件的大小设定为分别大于入射端面的高度方向和深度方向的大小,以覆盖整个入射端面,
从所述第1导光体的入射端面处的LED组件射出的垂直于光轴方向的光束的大小尺寸,设定为大于第1导光体的入射端面的尺寸,
所述多个锥形第1导光体的所述出射端面呈矩形,通过使所述出射端面的端部相互稠密地接合,所述多个第1导光体在与所述光束的光轴方向垂直的方向上相互并列地相邻设置。
2.根据权利要求1所述的曝光照明装置,其中,所述多个第1导光体在所述光束的出射侧具有与所述光轴方向平行的平行部,该平行部之间相互接合。
3.根据权利要求1或2所述的曝光照明装置,其中,所述第1导光体为锥形棒。
4.根据权利要求1或2所述的曝光照明装置,具有将从所述第1导光体出射的光束均匀化的第2导光体,所述第2导光体设置于所述第1导光体的出射侧,并且设定为沿所述光束的光轴方向,从所述第1导光体出射的光束入射的入射端面的大小与所述入射的光束出射的出射端面的大小大体相等。
5.根据权利要求4所述曝光照明装置,其中,所述第2导光体为:该第2导光体的入射端面的端部与所述第1导光体的出射端面的端部接合。
6.根据权利要求5所述曝光照明装置,其中,所述第1导光体与所述第2导光体之间设置光学构件,通过所述光学构件,将从所述第1导光体出射的光束会聚并入射到所述第2导光体。
7.根据权利要求6所述曝光照明装置,其中,所述第2导光体为棒状积分器或复眼积分器。
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