[发明专利]一种真空干燥装置、系统及真空干燥方法有效
| 申请号： | 201710631245.8 | 申请日： | 2017-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN107457164B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 王浩 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/04 | 分类号： | B05D3/04 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空干燥装置，包括真空室、设于所述真空室内的载台和阵列设于所述载台上的顶针，所述顶针通过吸附的方式固定在所述载台上，用于支撑在基板的显示区域外、具有虚拟像素单元的非显示区域。本发明还公开了一种真空干燥系统及真空干燥方法。本发明通过将真空干燥装置内的顶针设计为可活动的吸附式，在进行干燥处理前，通过将顶针支撑在基板的显示区域外、具有虚拟像素单元的非显示区域，可以避免基板上与顶针接触的区域出现pin Mura现象，提高了产品可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 干燥 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种真空干燥装置，其特征在于，包括真空室(10)、设于所述真空室(10)内的载台(20)和阵列设于所述载台(20)上的顶针(30)，所述顶针(30)通过吸附的方式固定在所述载台(20)上，用于支撑在基板(P)的显示区域外、具有虚拟像素单元的非显示区域。
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