[发明专利]一种加工基板的设备

摘要

本发明公开一种加工基板的设备，包括传输装置，所述传输装置用于传输所述基板；蚀刻装置，所述蚀刻装置用于对所述基板进行蚀刻；振子传感器，所述振子传感器设置在所述传输装置的路径上；开关组件，所述开关组件由所述振子传感器控制其开关状态；控制模块，所述控制模块与所述开关组件电连接，用于控制所述传输装置的启停；清洗装置，所述清洗装置用于向所述振子传感器喷射清洗液。本发明加工基板的设备，可以有效降低传感器振子因结晶而发生故障的概率，降低基板因为过度蚀刻而发生废弃和返工的概率，最终达到减少成本的效果。

主权项

1.一种加工基板的设备，其特征在于包括：/n传输装置，所述传输装置用于传输所述基板；/n蚀刻装置，所述蚀刻装置用于对所述基板进行蚀刻；/n振子传感器，所述振子传感器设置在所述传输装置的路径上；/n开关组件，所述开关组件由所述振子传感器控制其开关状态；/n控制模块，所述控制模块与所述开关组件电连接，用于控制所述传输装置的启停；/n清洗装置，所述清洗装置用于向所述振子传感器喷射清洗液；/n所述振子传感器包括支架和振子体，所述振子体通过转轴安装在所述支架上，所述开关组件设置在所述振子体的下方；/n所述开关组件，包括:/n按钮；/n可动接点，所述可动接点与所述按钮连接；/n固定接点；/n导线，所述导线一端与所述固定接点电连接，另一端与所述控制模块电连接。/n