[发明专利]一种加工基板的设备

说明书

本发明公开一种加工基板的设备，包括传输装置，所述传输装置用于传输所述基板；蚀刻装置，所述蚀刻装置用于对所述基板进行蚀刻；振子传感器，所述振子传感器设置在所述传输装置的路径上；开关组件，所述开关组件由所述振子传感器控制其开关状态；控制模块，所述控制模块与所述开关组件电连接，用于控制所述传输装置的启停；清洗装置，所述清洗装置用于向所述振子传感器喷射清洗液。本发明加工基板的设备，可以有效降低传感器振子因结晶而发生故障的概率，降低基板因为过度蚀刻而发生废弃和返工的概率，最终达到减少成本的效果。

技术领域

本发明涉及显示器件制程领域，尤其涉及一种加工基板的设备。

背景技术

在显示技术领域，液晶显示器件(Liquid Crystal Display，LCD)与有机发光二极管显示器件(Organic Light Emitting Diode，OLED)等平板显示器件已经逐步取代CRT显示器。

OLED具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、近180°视角、使用温度范围宽，可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点，被业界公认为是最有发展潜力的显示器件。OLED显示器件通常包括：基板、设于基板上的阳极、设于阳极上的空穴注入层、设于空穴注入层上的空穴传输层、设于空穴传输层上的发光层、设于发光层上的电子传输层、设于电子传输层上的电子注入层、及设于电子注入层上的阴极，发光原理为半导体材料和有机发光材料在电场驱动下，通过载流子注入和复合导致发光。

现有的基板的制造过程参考图1及图2，基板从基板进出口111进来，通过传送装置11传送，通过AP Plasma装置(大气压等离子清洗装置)12时，去除表面的有机物。然后，通过电梯13依次传送至药液隔离间14、第一蚀刻间15、第二蚀刻间16、第三蚀刻间17进行蚀刻。蚀刻过程中，蚀刻装置28的草酸溶液一直处于喷射状态。蚀刻完毕后，基板依次进入第一清洗间18、第二清洗间19进行清洗，最后通过干燥间110干燥后从出货口出来。

继续参见图1和图2，当新进基板21进入第一蚀刻间15后，就成为蚀刻基板26，蚀刻基板26与振子传感器22接触，振子传感器22发生偏移后，带动开关组件27的状态发生变化，从而给控制模块23发送电信号。控制模块23接收到电信号后，控制电机24带动传送带25转动，保证传送带25上的蚀刻基板26在规定的时间内，例如90秒，通过第一蚀刻间15，并由蚀刻装置28对蚀刻基板26进行蚀刻。蚀刻基板26只要在第一蚀刻间15内，就会压迫振子传感器22偏移，这样控制模块23就一直控制传送带25转动。当蚀刻基板26离开第一蚀刻间15后，振子传感器22就接收不到蚀刻基板26的压迫，开关组件27状态发生变化，控制模块23接收到新的电信号控制指令，控制电机24停止转动。但是，由于蚀刻装置28喷射的蚀刻液是草酸溶液，而草酸溶液具有很强的挥发性，使得振子传感器22的转子、转轴等部位经常会有结晶的情况发生，导致振子传感器22发生固化，控制模块23接收不到正确的控制指令，最终导致整个加工设备的运转异常。例如，当第三蚀刻间17中的基板加工完毕离开第三蚀刻间17后，由于振子传感器22不能回复原状，开关组件27状态不发生变化，控制模块23就一直控制电机24运转。即，造成了第三蚀刻间17内还有蚀刻基板26的假象。这样，新进基板21无法进入第三蚀刻间17，而第三蚀刻间17内系统一直在运作却并无基板在加工，这就导致了整个系统无法正常运行，即所谓停机。进一步的，第一蚀刻间15、第二蚀刻间16内的基板一直停留在本蚀刻间内蚀刻，这样就造成对基板的过度蚀刻，导致基板返工或废弃。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种加工基板的设备，能防止振子传感器在加工基板的过程中发生结晶而引起的整个加工系统的停机，解决基板在加工过程中因过刻蚀而返工或废弃的问题。